[實用新型]冷陰極輔助能譜系統有效
| 申請號: | 201020536626.1 | 申請日: | 2010-09-20 |
| 公開(公告)號: | CN202421509U | 公開(公告)日: | 2012-09-05 |
| 發明(設計)人: | 張蘭坤 | 申請(專利權)人: | 北京美嘉圖科技有限公司 |
| 主分類號: | G01T1/36 | 分類號: | G01T1/36 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 100053 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 陰極 輔助 譜系 | ||
1.冷陰極輔助能譜系統,是將陰極發光儀固定到顯微鏡上,通過能譜探測器附件與探測器連接,同時將探測器與電腦連接;其特征是:在陰極發光真空室觀察窗的位置添加能譜探測器附件,將探測器放置在能譜探測器附件上。
2.根據權利要求1所述的冷陰極輔助能譜系統,其特征是:能譜探測器附件的直徑為94.8mm的圓片,在圓中心有直徑為21mm的圓形觀察窗,觀察窗下表面有一2.9mm寬的環形密封槽,配有密封圈,并在觀察窗一側有一傾斜度為30°的開孔。
3.根據權利要求1所述的冷陰極輔助能譜系統,其特征是在觀察窗的一側裝有一內徑為19mm,外徑為28mm的圓筒狀探測器安裝支架,并配有帶壓花的螺栓密封蓋,密封蓋內配有圓環狀不銹鋼圈和O型密封圈。?
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