[實用新型]漏液檢測裝置

有效

• 申請號: 201020523259.1
• 申請日: 2010-09-02
• 公開（公告）號: CN202066657U
• 公開（公告）日: 2011-12-07
• 發明（設計）人: 川島良英;古川裕明
• 申請（專利權）人: 神視株式會社
• 主分類號: G01M3/38
• 分類號: G01M3/38
• 代理公司: 上海金盛協力知識產權代理有限公司 31242
• 代理人: 段迎春

技術領域

本實用新型涉及一種漏液檢測裝置。?

背景技術

以往，在工廠有時會發生從生產線的制造裝置、或者向該制造裝置供給液體的配管漏液的情況。來自于所述制造裝置或配管的漏液會導致工廠設施的破損和制品不良。特別是，在半導體生產線和食品加工線上，來自于制造裝置或配管的漏液導致工廠設施的破損和制品不良的可能性較高。于是，以往在工廠的制造裝置或者配管上具備檢測來自于制造裝置或者配管的漏液的漏液檢測裝置(例如，參照專利文獻1)。?

為了防止工廠設施的破損和制品不良，這種類型的漏液檢測裝置在檢測到來自于制造裝置的少量漏液時，就立即使制造裝置停止。?

專利文獻1：日本特開2004-53560號公報?

在上述的漏液檢測裝置中，只要檢測到來自于制造裝置的少量漏液就立即使制造裝置停止。然而，在來自于制造裝置的漏液為少量的情況下，有時即使不立即使制造裝置停止也不會導致工廠設施的破損和制品不良。在這種情況下，盡管本來不須要使制造裝置停止，卻使制造裝置停止，所以制品的制造時間變短而使制造裝置的生產效率降低。另外，漏液檢測裝置所監視的制造裝置在各個制造工序中被停止時，由于須要對所述各個制造工序中的制品進行返工或者廢棄，所以會使制造裝置的生產效率降低。?

實用新型內容

本實用新型是為了解決上述問題而提出的，其目的在于提供一種，能夠以適宜的時機輸出漏液檢出信號的漏液檢測裝置。?

為了解決上述課題，本實用新型的一個形態為漏液檢測裝置，其具備：導入漏液的第1導入部；第1漏液檢測部，其檢測被導入第1導入部內的漏液并且生成第1檢出信號；其特征在于，包括第2導入部，其在與所述第1導入部不同的位置導入漏液；第2漏液檢測部，其檢測被導入第2導入部內的漏液并且生成第2檢出信號；和輸出控制部，其基于所述第1以及第2檢出信號，對應所述漏液的發生量輸出漏液檢出信號。?

本實用新型的漏液檢測裝置還包括：所述輸出控制部與所述第1漏液檢測?部連接，從接收到所述第1檢出信號開始經過預定時間后輸出所述漏液檢出信號；同時與所述第2漏液檢測部連接，一接收到所述第2檢出信號就立即輸出所述漏液檢出信號。?

本實用新型的漏液檢測裝置還包括：所述輸出控制部與所述第1漏液檢測部及所述第2漏液檢測部連接，在接收所述第1檢出信號之后一接收所述第2檢出信號，就立即輸出所述漏液檢出信號。?

本實用新型的漏液檢測裝置還包括：所述第2導入部被設置在比所述第1導入部離所述漏液的發生源更遠的位置上。?

本實用新型的漏液檢測裝置還包括：所述漏液的發生源為配置于工廠內的制造裝置，所述輸出控制部與所述制造裝置連接，從所述制造裝置接收同步信號，并且與所述同步信號同步地輸出所述漏液檢出信號。?

本實用新型的漏液檢測裝置還包括：在所述漏液檢測裝置和地面之間設置有縫隙，所述第1導入部被設置在所述漏液檢測裝置下表面的邊緣部，所述第2導入部被設置于，凹設在所述漏液檢測裝置的所述下表面中央的凹部。?

本實用新型的漏液檢測裝置還包括：在所述凹部中設有空氣孔，所述空氣孔從所述凹部的內側表面貫穿所述漏液檢測裝置內部并且與外部連通。?

本實用新型的漏液檢測裝置還包括：時間差測定部，其測定所述第1漏液檢測部檢測出所述漏液的時間和所述第2漏液檢測部檢測出所述漏液的時間的時間差，所述輸出控制部與所述時間差測定部連接，基于所述第1以及第2檢出信號，和由所述時間差測定部測定的所述時間差，來改變輸出所述漏液檢出信號的時機。?

本實用新型的漏液檢測裝置還包括：第3導入部，其在與所述第1以及第2導入部不同的位置導入漏液；和第3漏液檢測部，其檢測被導入所述第3導入部的漏液并且生成第3檢出信號，所述輸出控制部與所述第3漏液檢測部連接，所述第3漏液檢測部一檢測出漏液，就立即輸出所述漏液檢出信號。?

本實用新型的漏液檢測裝置還包括：所述第1漏液檢測部包括：第1投光單元，其向所述第1導入部照射光線；第1受光單元，其通過所述第1導入部接收來自于所述第1投光單元的光線；和第1檢測單元，其基于在所述第1受光單元處的受光量檢測所述漏液并且生成所述第1檢出信號，所述第2漏液檢測部包括：第2投光單元，其向所述第2導入部照射光線，第2受光單元，其通過所述第2導入部接收來自于所述第2投光單元的光線；和第2檢測單元，其基于在所述第2受光單元處的受光量檢測所述漏液并且生成第2檢出信號。?

基于上述的實用新型，可以提供一種，能夠在適宜的時機輸出漏液檢出信號，并且能夠提高制造裝置的生產效率的漏液檢測裝置。?