[實用新型]一種應用于石英晶振片的旋轉鍍膜裝置

無效

• 申請號: 201020518657.4
• 申請日: 2010-09-07
• 公開（公告）號: CN201855781U
• 公開（公告）日: 2011-06-08
• 發明（設計）人: 王曉麗;張嘉琪;鄭嗣華;胡英;田思思;車路祺;周艷;王非;楊春蘭
• 申請（專利權）人: 天津理工大學
• 主分類號: B05C11/08
• 分類號: B05C11/08;B05C9/14;B05C13/02;B05B15/12
• 代理公司: 天津佳盟知識產權代理有限公司 12002
• 代理人: 侯力

1.一種應用于石英晶振片的旋轉鍍膜裝置，其特征在于：包括密封室、旋轉鍍膜器和氣溫控制系統；密封室為長方體結構，密封室上面中心設有進液口，側面分別設有進氣口和出氣口，在密封室內進氣口處設有擋板；旋轉鍍膜器位于密封室內，由旋轉機構、鍍膜盤和石英晶振片固定部分組成，旋轉機構包括電機、旋轉軸、基座和電機無極調速器，電機固定于基座上并通過基座固定于密封室底板中心，旋轉軸端部固定有法蘭盤，電機通過導線與固定于密封室外部的電機無極調速器連接，鍍膜盤包括轉盤和托盤，轉盤為圓筒型結構，轉盤的筒壁上設有兩個穿線孔，托盤為圓形平板，轉盤固定于托盤的中心，托盤中心通過螺栓與旋轉軸端部的法蘭盤固定，石英晶振片固定部分包括兩個硅膠管、接線端子和緊固螺栓，兩個硅膠管分別穿過轉盤筒壁上的兩個穿線孔并與轉盤固定，石英晶振片的兩根引線分別穿過兩個硅膠管伸入接線端子并通過緊固螺栓與接線端子固定，石英晶振片固定部分通過接線端子與托盤固定；氣溫控制系統包括鼓風機、電加熱器、熱電偶和電器控制儀表，鼓風機出口通過管道與密封室的進氣口連接，電加熱器設置于鼓風機出口與密封室的進氣口之間的管道內，熱電偶固定于密封室內，鼓風機、電加熱器和熱電偶通過導線與電器控制儀表連接。

2.根據權利要求1所述應用于石英晶振片的旋轉鍍膜裝置，其特征在于：所述密封室為30cm×15cm×8cm的長方體，其進氣口和出氣口的直徑為1cm；轉盤的外徑為2.5cm-3.0cm、壁厚為0.5cm、高為0.5cm-1.0cm；托盤的直徑為5cm-6.5cm；底座直徑為7.5cm，高為4.0cm-4.5cm。?