[實(shí)用新型]一種推片器的石英舟升降裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201020505619.5 | 申請(qǐng)日： | 2010-08-26 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN201868460U | 公開（公告）日： | 2011-06-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 朱道峰;高毅;莊甦;黃萍;王國(guó)華;周祖武;趙劍京;張洪建 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 北京市塑料研究所 |
| 主分類號(hào)： | H01L31/18 | 分類號(hào)： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京金之橋知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11137 | 代理人： | 朱黎光 |
| 地址： | 100009 *** | 國(guó)省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 推片器 石英 升降 裝置 | ||
1.一種推片器的石英舟升降裝置，其特征在于，包括：
轉(zhuǎn)軸、橢圓轉(zhuǎn)輪和控制所述轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的撥動(dòng)裝置；以及承載石英舟和硅片承載花籃的底座；其中，在所述底座對(duì)應(yīng)石英舟放置的位置上設(shè)置有至少兩排通孔和兩排貫穿底座的空腔，空腔穿過所述通孔，轉(zhuǎn)軸設(shè)置在空腔內(nèi)，并且對(duì)應(yīng)通孔的位置上設(shè)置有橢圓轉(zhuǎn)輪。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述推片器的石英舟升降裝置，其特征在于，所述撥動(dòng)裝置包括：撥片、第一撥桿、第二撥桿和連接軸，所述第一撥桿和第二撥桿的上端設(shè)置有豁口，所述豁口的相對(duì)側(cè)壁對(duì)應(yīng)設(shè)置有環(huán)形孔，撥片兩端設(shè)置有安裝孔，連接軸安裝在所述安裝孔和環(huán)形孔內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的石英舟升降裝置，其特征在于，所述撥片設(shè)置有凸出撥片本體的凸塊。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的石英舟升降裝置，其特征在于，所述每排通孔至少為兩個(gè)。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對(duì)紅外輻射、光、較短波長(zhǎng)的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件；專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的，一個(gè)或多個(gè)電光源，如場(chǎng)致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的，并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的
