[實用新型]一種酸洗板結(jié)構(gòu)無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201020292724.5 | 申請日: | 2010-08-13 |
| 公開(公告)號: | CN201773828U | 公開(公告)日: | 2011-03-23 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 謝麗華 | 申請(專利權(quán))人: | 常州銀河高新電裝有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673;H01L21/00 |
| 代理公司: | 常州市天龍專利事務(wù)所有限公司 32105 | 代理人: | 周建觀;張云 |
| 地址: | 213022 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 酸洗 板結(jié) | ||
1.一種酸洗板結(jié)構(gòu),包括基板(1),基板(1)的中部具有工作表面(1-1),基板(1)的兩端具有支撐部(1-3),基板(1)的兩側(cè)具有沿邊(1-4),所述基板(1)的工作表面(1-1)具有若干列通孔(1-2),其特征在于:所述基板(1)的工作表面(1-1)上還設(shè)有若干個橫向隔板(2),橫向隔板(2)位于每相鄰兩列的通孔(1-2)之間,且互相平行。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的酸洗板結(jié)構(gòu),其特征在于:所述橫向隔板(2)沿基板(1)縱向也即長度方向至少排成一隊。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的酸洗板結(jié)構(gòu),其特征在于:所述橫向隔板(2)沿基板(1)縱向也即長度方向排成兩隊。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的酸洗板結(jié)構(gòu),其特征在于:所述基板(1)的沿邊(1-4)具有通往基板(1)的工作表面(1-1)的豁口(1-4-1)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的酸洗板結(jié)構(gòu),其特征在于:所述基板(1)的沿邊(1-4)的上表面高于基板(1)的工作表面(1-1),沿邊(1-4)的上表面與基板(1)的工作表面(1-1)之間通過斜面(3)銜接或圓弧面銜接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的酸洗板結(jié)構(gòu),其特征在于:所述基板(1)兩端的支撐部(1-3)分別具有基板安裝孔(1-3-1),基板安裝孔(1-3-1)上裝有支柱(4)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的酸洗板結(jié)構(gòu),其特征在于:所述支柱(4)有四根。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





