[實用新型]硅錠處理裝置無效
| 申請號: | 201020289990.2 | 申請日: | 2010-08-13 |
| 公開(公告)號: | CN201776698U | 公開(公告)日: | 2011-03-30 |
| 發明(設計)人: | 施大全;陳董良 | 申請(專利權)人: | 鎮江環太硅科技有限公司 |
| 主分類號: | B24C1/00 | 分類號: | B24C1/00;B24C3/22 |
| 代理公司: | 鎮江京科專利商標代理有限公司 32107 | 代理人: | 夏哲華 |
| 地址: | 212216 江蘇省揚中市*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 處理 裝置 | ||
技術領域
本實用新型涉及多晶硅或單晶硅產品的生產輔助設備,具體是一種用來對多晶硅或單晶硅硅錠進行處理,以便于切割廢料進行回收利用的硅錠處理裝置。
背景技術
多晶硅或單晶硅鑄錠后,通常要通過開方工序將柱狀的硅錠表面材料切割去除后才進入下一步的加工利用。切割廢料可以作為原料回收利用,但由于硅錠表面有一層雜質(氮化硅和碳化硅),需將雜質處理才能回收利用;由于切割廢料形狀較小且不規則,因而處理較困難。傳統的處理方法是:開方后,通過人工打磨將其表面的雜質處理,最后清洗,再回收利用。其處理效率低、勞動強度大。
發明內容
本實用新型所要解決的技術問題是,提供一種能夠提高鑄錠切割廢料的處理效率、降低生產勞動強度的硅錠處理裝置。
本實用新型的硅錠處理裝置包括有一個工作箱體,在工作箱體中安置有一個可繞豎直軸心旋轉的工作臺,在工作臺一側設置有一組與噴砂系統連接的噴砂嘴。工作箱體還通過除塵管路與除塵系統連接。所述工作箱體前部設置可開啟或關閉的入口,在入口前方設置進料臺。
本實用新型的處理裝置結構簡單、噴砂處理效果好,它可在硅錠開方前通過噴砂對硅錠表面進行處理,由于柱狀的硅錠形狀規則且體積大,因而其處理難度低、效率高、勞動強度低。
附圖說明
圖1是本實用新型的硅錠處理裝置結構示意圖。
具體實施方式
如圖所示,該硅錠處理裝置包括有一個工作箱體1,在工作箱體中安置有一個可繞豎直軸心旋轉的工作臺2,在工作臺一側設置有一組與噴砂系統連接的噴砂嘴3。工作箱體還通過除塵管路與除塵系統4連接。工作箱體前部設置可開啟或關閉的入口,在入口前方設置進料臺5。
使用本實用新型裝置的的硅錠切割廢料回收方法經過以下步驟:
a.在多晶硅或單晶硅鑄錠未開方前,將柱狀的硅錠安置在圖1所示硅錠處理裝置中的工作臺2上,關閉工作箱體,使硅錠旋轉,同時通過一側的噴砂嘴對硅錠表面進行噴砂處理;
b.硅錠噴砂處理完成后進行開方,切割去除表面材料,切割廢料經清洗后回收利用。
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