[實用新型]混合氣體配制裝置

無效

• 申請號: 201020284934.X
• 申請日: 2010-08-09
• 公開（公告）號: CN201719988U
• 公開（公告）日: 2011-01-26
• 發明（設計）人: 曹素英;劉宏;林景升
• 申請（專利權）人: 哈爾濱黎明氣體有限公司
• 主分類號: B01F3/02
• 分類號: B01F3/02;B01F15/04
• 代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標事務所 23109
• 代理人: 張宏威

1.混合氣體配制裝置，它包括中量程壓力表（D1）、低量程壓力表（D2）和微量程壓力表（D3），其特征是：它還包括配氣干路（1）、N條配氣支路（2）、N個手動壓力控制閥門（F1）、中量程泄壓支路（31）、低量程泄壓支路（32）、微量程泄壓支路（33）和三個泄壓閥（F2）；N條配氣支路（2）分別與配氣干路連通，所述每條配氣支路（2）上均開有氣體流入或流出口，所述每條配氣支路（2）上的氣體流入或流出口與配氣干路（1）之間設置有一個手動壓力控制閥門（F1）；中量程泄壓支路（31）、低量程泄壓支路（32）和微量程泄壓支路（33）分別與配氣干路（1）連通，中量程泄壓支路（31）、低量程泄壓支路（32）和微量程泄壓支路（33）上均開有泄壓口，所述每個泄壓口處均設置有一個泄壓閥（F2）；所述中量程泄壓支路（31）的泄壓口處、低量程泄壓支路（32）的泄壓口處和微量程泄壓支路（33）的泄壓口處還分別設置有中壓量程壓力表（D1）、低壓量程壓力表（D2）和微壓量程壓力表（D3）；所述N為大于或等于2的整數。

2.根據權利要求1所述的混合氣體配制裝置，其特征在于它還包括它還包括三個手動壓力控制閥門（F1），所述三個手動壓力控制閥門（F1）分別設置在中量程泄壓支路（31）的泄壓口處、低量程泄壓支路（32）的泄壓口處和微量程泄壓支路（33）的管線上。

3.根據權利要求1或2所述的混合氣體配制裝置，其特征在于它還包括放空支路（4）和放空手動壓力控制閥門（F3），所述放空支路（4）與配氣干路（1）連通，所述放空支路（4）上開有放空口，所述放空支路（4）的管線上設置有放空手動壓力控制閥門（F3）。

4.根據權利要求3所述的混合氣體配制裝置，其特征在于它還包括抽真空支路（5）和真空泵（C），所述抽真空支路（5）與配氣干路（1）連通，所述抽真空支路（5）上開有抽真空口，真空泵（C）的氣體流入口與所述抽真空口連通。

5.根據權利要求4所述的混合氣體配制裝置，其特征在于它還包括抽真空手動壓力控制閥門（F4），所述抽真空手動壓力控制閥門（F4）設置在抽真空支路（5）上的管線上。

6.根據權利要求1、2、4或5所述的混合氣體配制裝置，其特征在于它還包括真空檢測支路（51）和真空計（D），所述真空檢測支路（51）與抽真空支路（5）連通，所述熱偶真空計（D）設置在真空檢測支路（51）的管線上。

7.根據權利要求6所述的混合氣體配制裝置，其特征在于真空計（D）是熱偶真空計。

8.根據權利要求6所述的混合氣體配制裝置，其特征在于它還包括真空檢測手動壓力控制閥門（F5），所述真空檢測手動壓力控制閥門（F5）設置在真空檢測支路（51）的管線上。