[實用新型]一種金屬有機物化學氣相沉積設備的加熱器

無效

• 申請號: 201020284730.6
• 申請日: 2010-08-09
• 公開（公告）號: CN202116644U
• 公開（公告）日: 2012-01-18
• 發明（設計）人: 常依斌;王小舉;李剛
• 申請（專利權）人: 上海藍寶光電材料有限公司
• 主分類號: C23C16/448
• 分類號: C23C16/448
• 代理公司: 深圳市順天達專利商標代理有限公司 44217
• 代理人: 林儉良

1.一種金屬有機物化學氣相沉積設備的加熱器，其特征在于，包括：由內至外依次設置的內圈加熱片(7)、第一中圈加熱片(8)、第二中圈加熱片(9)、以及外圈加熱片(10)；所述內圈加熱片(7)、外圈加熱片(10)、第一中圈加熱片(8)和第二中圈加熱片(9)采用兩種或以上不同材質的加熱片組成。

2.根據權利要求1所述的加熱器，其特征在于，所述內圈加熱片(7)和外圈加熱片(10)為錸加熱片，所述第一中圈加熱片(8)和第二中圈加熱片(9)為鎢加熱片。

3.根據權利要求1所述的加熱器，其特征在于，所述加熱器的周邊設有隔熱屏(5)。

4.根據權利要求1所述的加熱器，其特征在于，所述加熱器還包括內圈加熱片(7)、第一中圈加熱片(8)、第二中圈加熱片(9)、以及外圈加熱片(10)連接有鉬電極(4)；所述鉬電極(4)連接有轉接塊(3)。

5.根據權利要求1所述的加熱器，其特征在于，所述加熱器的下方設有三層反射板(1)和一層隔熱板(2)，所述隔熱板(2)設置在最下層。?