[實(shí)用新型]硅杯腐蝕夾具

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201020264325.8
• 申請(qǐng)日: 2010-07-14
• 公開（公告）號(hào): CN201857427U
• 公開（公告）日: 2011-06-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郁培軍;沈紹群
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 無錫華潤(rùn)華晶微電子有限公司
• 主分類號(hào): C23F1/08
• 分類號(hào): C23F1/08;C30B33/08
• 代理公司: 無錫市大為專利商標(biāo)事務(wù)所 32104
• 代理人: 殷紅梅

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種腐蝕夾具，尤其是一種硅杯腐蝕夾具，具體地說用于MEMS器件制造中濕法腐蝕的硅杯腐蝕夾具。

背景技術(shù)

MEMS(Micro-Electro-Mechanical?Systems)的主要加工方式還是以體微加工為主，其中涉及到硅杯的深槽腐蝕。所述硅杯的深槽腐蝕采用的溶液一般是KOH，由于KOH具有極強(qiáng)的腐蝕性，故傳統(tǒng)的膠很難對(duì)硅基板的保護(hù)面做到保護(hù)。目前的腐蝕保護(hù)方法有：1、利用PROTEX和PRIMER膠保護(hù)，但是PROTEX和PRIMER膠價(jià)格較貴，單片成本在130元左右且圓片邊緣保護(hù)不理想，腐蝕完去膠比較困難且不能完全去除干凈；2、傳統(tǒng)夾具保護(hù)，傳統(tǒng)夾具只能將反應(yīng)溶液置于夾具中，其反應(yīng)速率較慢且溫度不均勻，表面反應(yīng)物不能排出而黏附于表面。另外，有些夾具容易使圓片破碎，因?yàn)榍惑w內(nèi)氣體在高溫下膨脹，腔體壓力升高沖碎圓片。根據(jù)熱力學(xué)原理：P1/T1＝P2/T2，得到(作業(yè)溫度為90度)，得到圓片表面壓強(qiáng)P＝1.313*10⁵帕；即腔體壓力升高31.3千帕。根據(jù)膜過載能力計(jì)算：(其中，σ_max＝686*10⁶為最大應(yīng)力，v＝0.27為泊松比，h為膜厚度，l為膜長(zhǎng)度(這里為125mm)，p為過載壓力(這里為3.13*10⁴帕))帶入數(shù)據(jù)計(jì)算，得膜厚度為h＝441μm。一般5寸圓片厚度為h＝400μm，能夠明顯看出，使用傳統(tǒng)夾具后，圓片容易破碎。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種硅杯腐蝕夾具，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低廉，保護(hù)效果好，安全可靠。

按照本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案，所述硅杯腐蝕夾具，包括安裝塊，所述安裝塊的中心區(qū)設(shè)有腐蝕孔，安裝塊的一端凸設(shè)有定位塊，所述定位塊與安裝塊間形成臺(tái)階；所述安裝塊對(duì)應(yīng)于設(shè)置定位塊的端部設(shè)有壓板，所述壓板上設(shè)有頂板，所述頂板上設(shè)有壓片，所述壓片與定位塊相緊固連接；頂板與壓板相緊固連接。

所述定位塊上設(shè)有安裝孔；所述壓片利用壓片緊固螺栓與定位塊相緊固連接；所述壓片緊固螺栓穿過壓片后嵌置在安裝孔內(nèi)。所述頂板的中心區(qū)凸設(shè)有固定塊，所述固定塊上設(shè)有壓板緊固螺栓，所述頂板與壓板利用壓板緊固螺栓相緊固連接。所述壓板緊固螺栓對(duì)應(yīng)于與連接塊相接觸的端部設(shè)有第一密封圈。所述頂板的兩端均設(shè)有第一連接塊。所述第一定位塊對(duì)應(yīng)于安裝塊相接觸端部設(shè)有第二密封圈。所述壓板的端部凸設(shè)有第二連接塊。所述第二連接塊上設(shè)有第三密封圈。所述安裝塊與壓板間設(shè)有圓片；所述圓片對(duì)應(yīng)于與安裝塊相接觸的表面設(shè)有第四密封圈。所述安裝塊與圓片相對(duì)應(yīng)的內(nèi)壁設(shè)置密封槽；所述第四密封圈嵌置在密封槽內(nèi)。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)：通過頂板、壓板及壓片與安裝塊的對(duì)應(yīng)配合，將圓片放置在安裝塊與壓板間，圓片端部邊緣設(shè)置密封圈，能夠?qū)A片邊緣進(jìn)行有效保護(hù)。壓板上設(shè)有第二連接塊，使壓板與圓片的接觸面積減小，形成軟解觸，避免圓片的損傷。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，保護(hù)成本低，保護(hù)效果好，安全可靠。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)的爆炸示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合具體附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。

如圖1所示：本實(shí)用新型包括安裝塊1、密封槽2、腐蝕孔3、腐蝕腔體4、安裝孔5、壓板6、頂板7、固定塊8、第一密封圈9、壓板緊固螺栓10、壓片緊固螺栓11、壓片12、第一連接塊13、第二密封圈14、第二連接塊15、第三密封圈16、圓片17、第四密封圈18及定位塊19。

如圖1所示：所述安裝塊1的一端凸設(shè)有定位塊19，所述定位塊19與安裝孔1間形成臺(tái)階。安裝塊1對(duì)應(yīng)于設(shè)置定位塊19的另一端設(shè)有腐蝕孔3，所述腐蝕孔3位于安裝塊1的中心區(qū)；定位塊19與安裝塊1間形成腐蝕腔體4，所述腐蝕腔體4與腐蝕孔3相連通。所述安裝塊1上設(shè)有密封槽2，所述密封槽2允許密封圈嵌置。所述安裝塊1對(duì)應(yīng)于設(shè)置定位塊19的一側(cè)設(shè)有壓板6，所述壓板6的端部凸設(shè)有第二連接塊15。壓板6對(duì)應(yīng)于設(shè)置第二連接塊15的另一側(cè)設(shè)有頂板7；頂板7的中心區(qū)凸設(shè)有固定塊8，所述固定塊8上設(shè)有壓板緊固螺栓10；壓板6與頂板7利用壓板緊固螺栓10相緊固連接。壓板緊固螺栓10對(duì)應(yīng)于與固定塊8相接觸的端部設(shè)有第一密封圈9，所述第一密封圈9為圓形密封圈。