[實用新型]一種大直徑硅片拋光裝置有效
| 申請號： | 201020261749.9 | 申請日： | 2010-07-12 |
| 公開（公告）號： | CN201711850U | 公開（公告）日： | 2011-01-19 |
| 發明（設計）人： | 庫黎明;閆志瑞;索思卓;魯進軍;常青 | 申請（專利權）人： | 北京有色金屬研究總院;有研半導體材料股份有限公司 |
| 主分類號： | B24B29/00 | 分類號： | B24B29/00;B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京北新智誠知識產權代理有限公司 11100 | 代理人： | 郭佩蘭 |
| 地址： | 100088*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 直徑 硅片 拋光 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種大直徑硅片拋光裝置，其特征在于：它包括：垂直方向設置的、帶動硅片進行旋轉的游輪圈(3)、位于游輪圈左側的、由左傳動部分(2)帶動的左拋光輪(1)，位于游輪圈右側的、由右傳動部分(5)帶動的右拋光輪(4)，左、右拋光輪上分別貼有用于硅片拋光的拋光墊(7)，拋光輪表面設有供拋光液到硅片表面的孔，孔與內置于傳動部分和拋光輪內的軟管(6)相通。
2.按照權利要求1所要求的硅片拋光裝置，其特征在于：所述的左、右拋光輪為拋光盤。
3.按照權利要求1所要求的硅片拋光裝置，其特征在于：拋光輪的材料為金屬或陶瓷。
4.按照權利要求1所要求的硅片拋光裝置，其特征在于：拋光輪直徑為150mm～250mm。
5.按照權利要求1或4所要求的硅片拋光裝置，其特征在于：拋光輪上供拋光液的孔的數量為1～50個。
6.按照權利要求1所要求的硅片拋光裝置，其特征在于：游輪圈材料為樹脂。
7.按照權利要求1所要求的硅片拋光裝置，其特征在于：拋光液供液部分的管道材料為樹脂。?
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