[實用新型]吹氣腐蝕機

無效

• 申請號: 201020258519.7
• 申請日: 2010-07-15
• 公開（公告）號: CN201762245U
• 公開（公告）日: 2011-03-16
• 發明（設計）人: 高軍;孟為民;張駿;詹軍
• 申請（專利權）人: 菲特晶(南京)電子有限公司
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00
• 代理公司: 南京君陶專利商標代理有限公司 32215
• 代理人: 沈根水

技術領域

本實用新型涉及的是一種吹氣腐蝕機，適用于石英晶片加工的化學腐蝕工序。具體涉及該工序的裝置設計、制造；加工方法設計；加工流程設計等。屬于壓電石英晶體制造技術領域。

背景技術

目前，石英晶片加工制造業內采用傳統的搖籃式腐蝕機。該機器在生產加工過程中，不能使晶片完全有效的游離，極易造成晶片腐蝕痕不良，使產品報廢。受此缺陷的限制，極大地制約了該工序產能的提升，和造成產品質量的波動。

發明內容

本實用新型旨在克服現有的搖籃式腐蝕機所存在的加工過程中晶片不能有效分散游離；產能受限(Max：2000pcs/瓶)；極易造成晶片腐蝕痕不良等技術缺陷。提出一種吹氣腐蝕機。本設備不僅使得石英晶片在腐蝕加工過程中晶片能處于游離狀態，解決晶片腐蝕痕不良的致命傷，而且還有效提升單瓶產能(Max：5000pcs/瓶)。

本實用新型的技術解決方案：吹氣腐蝕機的結構包括PVC板箱體、電氣控制柜、不銹鋼方管支架、控制器、廢液溢水槽、排污口、抽風機孔、PPR給水管，其中電氣控制柜設置在PVC板箱體的兩側，不銹鋼方管支架在PVC板箱體的下方，控制裝置設在電氣控制柜內，廢液溢水槽與PVC板箱體是一體的，在PVC板箱體底部設排污口，抽風機孔開在PVC板箱體的上方，在PVC板箱體的背面設PPR水管，PVC板箱體內安裝腐蝕溶液槽、純凈水槽、熱水槽。

本實用新型的有益效果：本實用新型在腐蝕作業和清洗作業時，由于是壓縮空氣經流量控制，所以晶片翻騰的分散游離，不會產生疊片貼合，不會產生腐蝕痕不良品；由于腐蝕瓶與氣室是快速螺紋連接，安裝和拆卸操作便捷；單瓶裝片量達5000pcs，比搖籃提高3000pcs，產能，效率高；結構簡單，無須伺服電機控制；

附圖說明

附圖1是吹氣腐蝕機機體的主視結構示意圖。

附圖2是附圖1的左側視結構示意圖。

附圖3是附圖1的后視結構示意圖。

附圖4是吹氣腐蝕機內部結構示意圖。

附圖中的1是PVC板箱體、2是電氣控制柜、3是不銹鋼方管支架、4是控制裝置、5是廢液溢水槽、6是廢酸出口、7是排污口、8是抽風機孔、9是PPR給水管，9’是吹氣腐蝕機機體、10是吹氣瓶、11是溢水孔、12是腐蝕溶液槽、13是純凈水槽、14是熱水槽、15是進氣管、16是進氣閥、17是進水閥、18是進水管、19是盤管筒、20是腐蝕溶液槽中的A氣室、21是溶液交換孔、22是純凈水槽中的B氣室、23是溫控儀、24是計時器、25是進氣閥控制器、26是進水閥控制器、27是氣體流量計、28是氣瓶的加蓋蒙網。

具體實施方式

對照附圖1-3，其結構是包括PVC板箱體1、電氣控制柜2、不銹鋼方管支架3、控制器4、廢液溢水槽5、排污口7、抽風機孔8、PPR給水管9，其中電氣控制柜2設置在PVC板箱體1的兩側，不銹鋼方管支架3在PVC板箱體1的下方，用以支撐PVC板箱體1，控制裝置4設在電氣控制柜2內，廢液溢水槽5與PVC板箱體1是一體的，在PVC板箱體1底部設排污口7，抽風機孔8開在PVC板箱體1的上方，在PVC板箱體1的背面設PPR水管9。PVC板箱體1內安裝蝕溶液槽、純凈水槽、熱水槽。

對照附圖4，其內部結構是包括腐蝕溶液槽12、純凈水槽13、熱水槽14，其中熱水槽14中的盤管筒19上繞有進氣管15，進氣管15的一端與進氣閥16相接，進氣管15的另一端與固定在腐蝕溶液槽12中的A氣室20相接，凈水機終端通過進水閥17與進水管18一端連接，進水管18的另一端與固定在純凈水槽13中的B氣室22相連，純凈水槽13的側壁上開有溢水孔11，氣瓶的加蓋蒙網28安裝在吹氣瓶10的底部，加設氣瓶的加蓋蒙網28，防止晶片的遺漏并保證熱壓縮空氣通過，吹氣瓶10與腐蝕溶液槽12中的A氣室20通過快速密封螺紋連接，吹氣瓶10上開有溶液交換孔21。電氣控制柜2內的控制裝置4包括溫控儀23、計時器24、進氣閥控制器25、進水閥控制器26、氣體流量計27(均屬現有技術)，其中溫控儀23與熱水槽14、腐蝕溶液槽12、純凈水槽13連接；進水閥控制器26與進氣閥17連接；進氣閥控制器25接氣體流量計27，計時器24和進氣閥16連接。控制裝置4是監控整個腐蝕和清洗的作業過程。

具體控制方法如下，

(1)溫控儀23控制腐蝕溶液槽12、純凈水槽13和熱水槽14內的溫度。

(2)計時器24控制吹氣瓶10內的晶片腐蝕時間。

(3)進氣閥控制器25控制進氣閥16的開合。

(4)進水閥控制器26控制進水閥24的開合。