[實用新型]超凈高純級氟化銨溶液制備裝置有效
| 申請號: | 201020250960.0 | 申請日: | 2010-07-01 |
| 公開(公告)號: | CN201770491U | 公開(公告)日: | 2011-03-23 |
| 發明(設計)人: | 戈士勇 | 申請(專利權)人: | 江陰市潤瑪電子材料有限公司 |
| 主分類號: | C01C1/16 | 分類號: | C01C1/16 |
| 代理公司: | 江陰市同盛專利事務所 32210 | 代理人: | 唐紉蘭;曾丹 |
| 地址: | 214423 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 凈高 氟化 溶液 制備 裝置 | ||
1.一種超凈高純級氟化銨溶液制備裝置,其特征在于:它包括液氨儲罐(1)、第一水洗桶(2)、第二水洗桶(3)、吸收桶(4)、混合罐(5)、過濾器(6)、成品桶(7)、氫氟酸桶(8)、純化水桶(9)和水浴槽(10);
所述液氨儲罐(1)出口與第一水洗桶(2)進口相連,所述第一水洗桶(2)出口與第二水洗桶(3)進口相連,所述第二水洗桶(3)出口與吸收桶(4)進口相連,所述吸收桶(4)出口與混合罐(5)進口相連,所述混合罐(5)出口與過濾器(6)進口相連,所述過濾器(6)出口與成品桶(7)相連;
所述吸收桶(4)置于水浴槽(10)中,所述吸收桶(4)上連接有氫氟酸桶(8)和純化水桶(9)。
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