[實用新型]一種自動測量裝置

有效

• 申請號: 201020246465.2
• 申請日: 2010-06-30
• 公開（公告）號: CN201795991U
• 公開（公告）日: 2011-04-13
• 發明（設計）人: 黃臣
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01B11/02;G01B11/28
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及半導體檢測裝置，特別涉及一種自動測量裝置。

背景技術

目前，隨著半導體生產制造工業迅速發展，對制程中良率的提升也相應提高，而在制程中首要的是確保晶圓質量，否則具有缺陷的晶圓到后續制程中會出現問題，嚴重時造成晶圓報廢，生產浪費。

目前半導體行業所使用的目檢機臺對于被測物件宏觀缺陷的檢驗并不能量化管控，對于宏觀缺陷的檢測不能進行量測，存在不便。如果需要量測必須手動將被測物件拿出再使用量測工具來完成，量測工具與被測物件接觸容易污染或刮傷被測物件并存在引進新缺陷和破片的風險，且手動量測使用直尺等比較原始的量測工具勢必造成工程數據可靠性不高，操作過程繁雜、高風險等問題，容易造成缺陷產生的原因和相關機臺的錯誤判斷。

實用新型內容

本實用新型是為解決現有量測裝置對宏觀缺陷量測存在不便，以及容易污染和刮傷被測物件而引進新缺陷和破片的風險，其目的在于提供一種自動量測裝置，來解決手動操作過程中的繁雜、高風險、低效能等缺陷。

本實用新型涉及一種自動量測裝置包括第一液晶顯示器、光源、光源控制開關、第二液晶顯示器、連接線、載物臺；該光源位于該第一液晶顯示器內部，該光源控制開關位于該第一液晶顯示器上，第一液晶顯示器與第二液晶顯示器平行，并且該第一液晶顯示器與該第二液晶顯示器之間用連接線連接，該載物臺的載物面垂直于水平面并且與第二液晶顯示器平行。

優選地，該光源發出的光是激光，該光源位于該第一液晶顯示器內部的中心。

優選地，該連接線安放在連接桿內部，連接桿的材料是塑料，并且通過聚乙烯材料固定在第一液晶顯示器與第二液晶顯示器之間。

優選地，該第一液晶顯示器包括用戶界面。

根據該自動量測裝置，通過激光在第二液晶顯示器中自動感應獲取缺陷外形，并把數據信息通過連接線的傳輸顯示在第一液晶顯示器的用戶界面上，通過自動量測和讀取，能解決手動操作過程中的繁雜、高風險、低效能等缺陷。

附圖說明

圖1為自動量測裝置的結構示意圖。

具體實施方式

下面參照附圖，對本實用新型的具體實施方式作進一步的詳細描述。在整個描述中，相同的附圖標記表示相同的部件。

本實用新型提供的自動量測裝置，通過激光感應自動獲取缺陷外形，并自動顯示在液晶顯示器的用戶界面上，能解決手動操作過程中的繁雜、高風險、低效能等缺陷。

圖1為自動量測裝置的結構示意圖。參照圖1，自動量測裝置100包括：第一液晶顯示器101、光源102、光源控制開關103、連接線(圖中未畫出)、第二液晶顯示器105、載物臺106；光源102位于第一液晶顯示器101內部，光源控制開關103位于第一液晶顯示器101上，第一液晶顯示器101與第二液晶顯示器105平行，并且第一液晶顯示器101與第二液晶顯示器105之間用連接線(圖中未畫出)連接，載物臺106的載物面垂直于水平面并且與第二液晶顯示器105平行。

光源102位于第一液晶顯示器101的內部中心位置，光源控制開關103位于第一液晶顯示器101上，在量測過程中控制光源102的開啟和關閉；被測物件107置于載物臺106的載物面上，被測物件107垂直于水平面并且與第二液晶顯示器105平行，第一液晶顯示器101更包括一用戶界面，該用戶界面為第一液晶顯示器101顯示界面的一部分，用于顯示測量數據的結果。

連接線(圖中未畫出)安放在連接桿104內部，連接桿104的材料是塑料，并且通過聚乙烯材料固定在第一液晶顯示器101與第二液晶顯示器105之間。本領域的普通技術人員應該理解，連接桿104的材料不僅僅局限為塑料，還可以是玻璃等其他材料。在自動量測裝置100中，光源102發出的光是激光，而激光的方向性好，使測量值的精確度高并能有效地減小誤差。被測物體107是存在外界窗口的半導體。

采用自動量測裝置100能夠自動從第一液晶顯示器101的用戶界面中獲取測量結果，代替目前量測的手動操作，避免了手動操作過程中容易污染和刮傷被測物件107而引進新缺陷和破片的風險。解決了手動操作繁雜、高風險、低效能等缺陷