[實用新型]一種滲漏防護裝置及帶滲漏防護裝置的氣動泵

有效

• 申請號: 201020246405.0
• 申請日: 2010-06-30
• 公開（公告）號: CN201730818U
• 公開（公告）日: 2011-02-02
• 發明（設計）人: 周麗兵;馮金桐;宋智云
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: F04B53/00
• 分類號: F04B53/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及氣動泵，尤其涉及一種防止氣動泵膜片破損后從消音器噴濺出污泥的滲漏防護裝置及帶滲漏防護裝置的氣動泵。

背景技術

半導體芯片制造是一個尖端科技行業，同時又是一個耗水量大、產生工業廢水較多的行業。半導體芯片制造廠廢水的來源，可略分為制程廢水、純水系統廢水、廢氣洗滌中和液廢水等三種。

由于這些廢水中可能含氟，而氟含量過高會造成對環境的污染因此需要對含氟廢水進行處理使廢水中的氟含量指標達到國家排放標準后才進行排放。通常對含氟廢水的處理方法有多種，國內外常用的方法大致分為兩類，即化學沉淀法和吸附法。

化學沉淀法是通過投加鈣鹽等化學藥品，形成氟化物沉淀或氟化物被吸附于所形成的沉淀物中而共同沉淀，該方法簡單、處理方便，費用低。吸附法是指含氟廢水流經接觸床，通過與床中固體介質進行離子交換或化學反應，去除氟化物；這種方法只適用于低濃度的含氟廢水或經其他方法處理后氟化物濃度降至10～20mg/L的廢水，而且接觸床的再生及高濃度再生液的處理是整個運行過程中不可缺少的一部分，接觸床頻繁的再生使運行成本較高。

因此，化學沉淀法成為含氟廢水處理的主要方法。由于在化學沉淀法處理含氟廢水的過程中，會產生污泥液體，因而需定時對污泥液體進行清除。目前，由于氣動泵采用壓縮空氣為動力源，對于各種腐蝕性液體，帶顆粒的液體，高粘度、易揮發、易燃、劇毒的液體，均能予以抽光吸盡，并且可空轉，因而氣動泵成為廢水處理行業中常用的清除污泥液體的工具。同時為了降低噪聲，在氣動泵上還安裝了消音器。

現有的氣動泵運行一段時間后，由于位于其中的膜片容易破損，造成污泥從破損膜片經消音器露出，從而在短時間內噴濺出大面積的污泥，并且無法在第一時間發現。所噴濺出來的污泥需大量的人力經常性的重復清理，且會對周圍設備及操作人員造成一定的影響。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種滲漏防護裝置及帶滲漏防護裝置的氣動泵，以解決現有技術中氣動泵的消音器外面沒有防護裝置，從而導致氣動泵膜片破損后，污泥從破損膜片經消音器露出，在短時間內噴濺出大面積的污泥，對周圍設備及操作人員造成一定的影響的問題。

同時，本實用新型還解決了現有技術中無法在第一時間發現污泥從破損膜片經消音器露出的問題。

為解決上述問題，本實用新型提出一種滲漏防護裝置，該滲漏防護裝置包括防護盒和排放管路，所述防護盒上設置有排放口，所述排放管路的一端與所述排放口相連，另一端通入地溝。

可選的，所述防護盒包括第一盒體及第二盒體，所述第一盒體與所述第二盒體對接且連通，所述排放口設置在所述第二盒體上，所述第一盒體的尺寸比所述第二盒體的尺寸小，所述第一盒體的側面的底部均勻地設有多個卡扣，所述第二盒體的側面的頂部均勻地設有多個卡槽，所述第一盒體嵌入所述第二盒體，所述卡扣卡入所述卡槽。

可選的，所述第一盒體的左面設有第一通孔，所述第一通孔的中心在所述第一盒體的底部；所述第二盒體的左面設有第二通孔，所述第二通孔的中心在所述第二盒體的頂部，且所述第二通孔與所述第一通孔對稱。

可選的，所述防護盒的材質為透明PVC材料。

可選的，所述排放管路與所述排放口通過閥門相連。

可選的，所述閥門為雙由令閥門，且所述閥門的材質為硬PVC材料。

可選的，所述排放口為DN32排放口。

可選的，所述排放管路為DN32管路，且所述排放管路的材質為硬PVC材料。

為解決上述問題，本實用新型還提出一種帶滲漏防護裝置的氣動泵，該氣動泵包括腔體、進氣口、進泥口、出泥口以及消音器，所述進氣口、進泥口及出泥口與所述腔體相連通，所述消音器通過管道連接在所述腔體的外面，所述消音器的外面設置有上述的滲漏防護裝置，所述滲漏防護裝置的防護盒包圍所述消音器。

可選的，所述滲漏防護裝置中的所述第一通孔為第一半圓形結構，所述第二通孔為第二半圓形結構，所述第一半圓形結構的直徑與所述第二半圓形結構的直徑相等，且所述第一半圓形結構的直徑與所述管道的外徑相等。

與現有技術相比，本實用新型提供的帶滲漏防護裝置的氣動泵還包括滲漏防護裝置，所述滲漏防護裝置可收集從消音器噴濺出的污泥，并通過排放管路排至鄰近的地溝，從而防止污泥直接噴濺到外面，對周圍設備及操作人員造成影響。

同時，本實用新型提供的滲漏防護裝置，其防護盒包括第一盒體和第二盒體兩部分，且第一盒體與第一盒體通過卡扣和卡槽進行卡緊，從而方便拆卸及安裝。