[實用新型]一種基于真空隧道電流檢測的紅外氣體檢測裝置

無效

• 申請號: 201020240569.2
• 申請日: 2010-06-25
• 公開（公告）號: CN201819878U
• 公開（公告）日: 2011-05-04
• 發明（設計）人: 張正勇;楊地委
• 申請（專利權）人: 中國科學院合肥物質科學研究院
• 主分類號: G01N21/35
• 分類號: G01N21/35;G01N27/60
• 代理公司: 安徽省合肥新安專利代理有限責任公司 34101
• 代理人: 何梅生

1.一種基于真空隧道電流檢測的紅外氣體檢測裝置，其特征在于：設置紅外光源(1)，在所述紅外光源(1)的光軸線上分別設置有被測氣體的開放氣室(6)、被測氣體的密封氣室(10)和真空隧道電流的真空室(12)；來自紅外光源(1)的紅外光線透過紅外濾光片(2)經開放氣室(6)后，再通過透光玻璃板(8)投向密閉氣室(10)，密閉氣室(10)以其外端側的彈性膜板(11)作為可改變真空室(12)內兩隧道電極之間的距離的真空室(12)的一側端面。

2.根據權利要求1所述的基于真空隧道電流檢測的紅外氣體檢測裝置，其特征在于：設置所述被測氣體的開放氣室(6)的左端板為紅外濾光片(2)，右端板為透光玻璃板(8)，四周的開放氣室側壁(3)內表面為光線反射面(4)，開放氣室側壁(3)上設置有進氣孔(5)和排氣孔(7)。

3.根據權利要求1所述的基于真空隧道電流檢測的紅外氣體檢測裝置，其特征在于：所述的被測氣體的密閉氣室(10)是以透光玻璃板(8)為一側端板、與四周的密閉氣室側壁(9)和另一端的彈性膜(11)共同圍成；所述四周的密閉氣室側壁(9)和彈性膜(11)為一體化結構；在所述密閉氣室(10)內按設定的壓力封閉有純凈的被測氣體，在所述彈性膜(11)的外表面中心設置左隧道電極(14)，在所述左隧道電極(14)外圍設置左偏轉電極(13)。

4.根據權利要求1所述的基于真空隧道電流檢測的紅外氣體檢測裝置，其特征在于：所述的真空隧道電流的真空室(12)是以所述彈性膜(11)所在一側的密閉氣室(10)的端面為端板、與四周的真空室側壁(19)與右側端板(18)共同圍成；在所述右側端板(18)的中心、朝向左隧道電極(13)的方向有一尖錐(17)；所述真空室側壁(19)、右側端板(18)以及尖椎(17)為一體化結構；對應于所述左隧道電極(14)所在位置，在所述尖錐(17)的錐體表面及右側端板(18)內側中心設置右隧道電極(16)，對應于所述左偏轉電極(13)所在位置，在所述右隧道電極(16)外圍設置右偏轉電極(15)。?