[實用新型]一種高速噴射點膠機工作臺無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201020236740.2 | 申請日: | 2010-06-24 |
| 公開(公告)號: | CN201838563U | 公開(公告)日: | 2011-05-18 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 劉傳明 | 申請(專利權(quán))人: | 深圳市高尚能源科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/56 | 分類號: | H01L21/56 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 518000 廣東省深*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 高速 噴射 機工 | ||
1.一種高速噴射點膠機工作臺,包括X底座、Y底座,其特征在于:在所述X底座上通過X軸承座設(shè)有X高精度滾珠絲桿,在所述Y底座上通過Y軸承座設(shè)有Y高精度滾珠絲桿。
2.如權(quán)利要求1所述的高速噴射點膠機工作臺,其特征在于:在所述X底座上和Y底座上分別設(shè)有直線導(dǎo)軌,所述X底座上的直線導(dǎo)軌與X高精度滾珠絲桿平行,所述Y底座上的直線導(dǎo)軌與Y高精度滾珠絲桿平行。
3.如權(quán)利要求1所述的高速噴射點膠機工作臺,其特征在于:所述X底座或Y底座是鑄鋁材料。
4.如權(quán)利要求1所述的高速噴射點膠機工作臺,其特征在于:在所述X底座端部和Y底座端部通過伺服電機座設(shè)置有伺服電機閉環(huán)控制系統(tǒng)。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





