[實用新型]一種壓力傳感器

有效

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• 申請日: 2010-06-19
• 公開（公告）號: CN201754116U
• 公開（公告）日: 2011-03-02
• 發(fā)明（設計）人: 蔡信偉;楊青春;陳大軍
• 申請（專利權）人: 比亞迪股份有限公司
• 主分類號: G01L9/12
• 分類號: G01L9/12
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種壓力傳感器，尤其是一種電容式壓力傳感器。

背景技術

如今，各種傳感器在日常生活中的作用日趨重要，特別是壓力傳感器，可廣泛用于氣壓、血壓等領域的測量，其中，電容式壓力傳感器是一種常用的壓力傳感器。其典型的結構包括一個檢測極板和參考極板，通過檢測極板在受壓后相對移動導致的兩極板間距變化，測量壓力變化。

現(xiàn)有技術中公開了一種差動電容式傳感器，就是在真空膜盒內安置一組平板電容器，其兩個極片分別用金屬棒與它對面的真空膜片相連接，在分別通過專門設計的密封絕緣子引出盒外。其結構比較復雜，而且加工工藝難度大，成品率低，成本高，精度低。

同時，現(xiàn)有技術中還公開了另一種結構的壓力傳感器，包括底座、固定于底座的氣嘴、固定于底座的波紋片、與固定電極板大致平行放置的且焊接于波紋片的可動電極板，焊接于底座且與可動電極板有電氣連接的可動電極板接線柱；為了與可動電極板保持一定距離而通過墊圈、固定柱、固定環(huán)、固定于底座的固定電極板、與固定電極板有電氣連接的固定電極接線柱。該壓力傳感器的零部件太多，降低了傳感器的可靠性，并且其精度較低。

實用新型內容

為了解決現(xiàn)有技術中的壓力傳感器的測量精度低的問題，本實用新型公開了一種壓力傳感器，其結構簡單，并且測量精度高。

本實用新型公開的壓力傳感器包括動極板、動作部、定引出電極、動引出電極以及可相互固定設置的基座和定極板，基座和定極板之間形成動作區(qū)，所述動作部位于動作區(qū)內并設置于基座底部；所述動極板固定于動作部上并與定極板相向設置，待測壓力的變化可改變動極板與定極板之間的距離；所述定極板和動極板均為絕緣體，并且定極板上朝向動極板的一側設置有定極薄膜，動極板上朝向定極板的一側設置有動極薄膜；所述定極薄膜與定引出電極電連接，動極薄膜與動引出電極電連接。

進一步的，所述動作部包括波紋膜片，所述波紋膜片與動極板連接。并且所述動作部還包括上板，所述上板固定于基座底部并與波紋膜片固定電連接，并且上板與波紋膜片之間形成氣腔。

同時，為了便于使用，在基座上設置有中空的引壓氣嘴；所述引壓氣嘴內的引壓通道貫通基座并與氣腔連通。測量時，將引壓氣嘴與膠管連接，并連接至待測物即可。待測物壓力變化可導致氣腔內氣壓的變化，從而促使波紋膜片沿其軸向產生運動，進而帶動動極板產生運動，改變動極薄膜與動極薄膜之間的距離，進而達到測量的目的。

根據(jù)本實用新型，所述波紋膜片和上板均為導體；并且所述動引出電極設置于上板上，所述動極薄膜與波紋膜片電連接。

安裝時，可在波紋膜片上設置膜片凸起，所述動極板上具有可導電的焊盤，所述焊盤與膜片凸起固定電連接，并且焊盤與動極薄膜電連接。

并且，所述焊盤、定極薄膜和動極薄膜均為金屬鍍層；焊盤和動極薄膜分別位于動極板相對的兩側，并通過導線電連接，所述導線為金屬鍍層。將上述定極板和動極板采用絕緣材料，在定極板和動極板上電鍍、化學鍍、氣相沉積或濺射上薄片狀金屬鍍層，大大降低了金屬層的厚度。

所述定引出電極固定設置于定極板上；所述基座上開設有電極引出槽，所述定引出電極和動引出電極從電極引出槽延伸出基座。

所述基座上設置有第一連接部，定極板上設置有第二連接部，第一連接部可與第二連接部固定連接，進而使基座和定極板固定起來。上述第一連接部和第二連接部可采用現(xiàn)有技術中常用的各種連接方式進行固定，例如可采用螺紋連接的方法進行配合作用。

所述基座上與上板鄰接的一側設置有內凹槽和外凹槽，所述內凹槽和外凹槽均被上板覆蓋，并且，所述內凹槽環(huán)設于導壓孔外圍，所述外凹槽環(huán)設于上板邊緣在基座上所對應的位置。

本實用新型采用了絕緣材料制作的基座固定所用金屬部件，減少上下電極之間除極間法向電場外的其它電氣耦合。同時，動極板放棄之前采用金屬薄板的制作方式，而是采用電鍍或化學鍍等的方式在一片邊緣為圓錐面的絕緣材料圓板上鍍上一層導電金屬薄膜，再經過激光蝕刻等蝕刻工藝將圓板圓周面上多余金屬膜蝕刻掉，只留下一條很細的導線用于連接圓板上下兩側的金屬薄膜這樣就可以制作出比使用普通金屬圓板薄15-30倍，使之極板的厚度相對兩極板的間距可以忽略不計，從而極大減小邊緣效應的影響，這樣在不增加零件數(shù)目的前提下改善了傳感器的精度。