[實用新型]特殊化學品的安全輸送裝置

無效

• 申請號: 201020231436.9
• 申請日: 2010-06-18
• 公開（公告）號: CN201721822U
• 公開（公告）日: 2011-01-26
• 發明（設計）人: 李東升;曾慶騰;張敏
• 申請（專利權）人: 上海正帆科技有限公司;上海昕通半導體設備有限公司;上海億欣電子科技有限公司
• 主分類號: B65D85/84
• 分類號: B65D85/84;B65D85/82;B65D25/02;B65D25/24
• 代理公司: 上海申匯專利代理有限公司 31001
• 代理人: 翁若瑩

技術領域

本實用新型涉及一種特殊化學品的安全輸送裝置，用于安全輸送半導體制造等工藝中所需的特殊化學品。

背景技術

一些在半導體、太陽能、集成電路等特定領域中應用的特殊化學品，常常具有強腐蝕性、強氧化性、劇毒、遇水劇烈反應等特性，一旦泄露不僅嚴重威脅操作人員的身體健康，而且嚴重污染環境，為企業、個人，社會造成不必要的損失和傷害。因此儲存、運輸、操作過程中都需十分謹慎。針對適合盛放此類化學品的裝置材料，金屬材料中只有哈氏合金可以滿足防腐蝕、防污染的要求，但價格非常昂貴，不便于推廣使用。

目前用戶使用此類特殊化學品均采用400ml或1500ml高純石英瓶容器包裝。由于石英瓶易碎，長途運輸過程中化學品泄漏風險較高，操作過程中頻繁換瓶也使操作風險和人工維護成本居高不下。

發明內容

本實用新型的目的是克服已有技術存在的缺陷，杜絕由于石英易碎帶來的安全隱患，使操作和運輸過程中的純度、泄漏風險降至最低，為特殊化學品提供一種運輸方便、安全可靠的輸送裝置。

為了達到上述目的，本實用新型的技術方案是提供一種特殊化學品的安全輸送裝置，包括外殼及其上蓋，外殼分為上下兩部分，外殼的上下兩部分之間以及外殼與上蓋之間皆設有密封裝置，其特征在于，外殼內側設有緩沖裝置，緩沖裝置內側設有石英內膽，石英內膽的上部分設于外殼的上部分內，外殼的上部分側面設有把手，石英內膽的頂端設有第一氣體閥和第一液體閥，第一氣體閥和第一液體閥分別通過氣體管路和液體管路連接第二氣體閥和第二液體閥，第二氣體閥和第二液體閥設于不銹鋼板上，不銹鋼板固定于外殼的上部分內側。

進一步地，所述上蓋設有視鏡，視鏡內設有指示劑。

本實用新型的優點是：

1、配套設計安全可靠，徹底消除安全隱患；

2、連接方式簡單便攜，應用范圍廣；

3、提高化學品利用率，降低換瓶操作次數，大大降低運行和維護成本；

4、保證運輸方便安全，降低物流成本；

5、有效降低環境污染。

附圖說明

圖1為特殊化學品的安全輸送裝置結構示意圖。

具體實施方式

下面結合實施例來具體說明本實用新型。

實施例

如圖1所示，為特殊化學品的安全輸送裝置結構示意圖。所述的特殊化學品的安全輸送裝置包括外殼1及其上蓋12，外殼1分為上下兩部分，外殼1的上下兩部分之間以及外殼1與上蓋12之間皆設有密封裝置11，外殼1的內側設有緩沖裝置2，緩沖裝置2內側設有石英內膽3，石英內膽3的上部分設于外殼1的上部分內，外殼1的上部分側面設有把手4，石英內膽3的頂端設有第一氣體閥5和第一液體閥6，第一氣體閥5和第一液體閥6分別通過氣體管路和液體管路連接第二氣體閥7和第二液體閥8，第二氣體閥7和第二液體閥8設于不銹鋼板9上，不銹鋼板9固定于外殼1的上部分內側。所述上蓋12設有視鏡10，視鏡10內設有指示劑。

所述石英內膽3用于盛裝三氯氧磷、四氯化硅等特殊化學品，其材料為高純石英，容積約為19L，頂部分別設置氣體管路和液體管路。第一氣體閥5、第一液體閥6、第二氣體閥7和第二液體閥8皆為PTFE閥門，第一氣體閥5和第一液體閥6通常處于開啟狀態，必要時關閉可阻斷化學品向下游輸出，起到密封裝置的作用。第二氣體閥7和第二液體閥8是進行開關動作的操作閥。不直接在石英進出管處進行開關操作，完全避免因開關閥門導致石英管斷裂而造成的危險，有效地保證了裝置系統安全。操作時打開4只閥，由氣體管路向石英內膽3內輸送氮氣，氣體的進入將石英內膽3中的化學品壓出，流向下游，從而實現化學品的輸送。石英內膽3外部包裹EPE珍珠棉等材料的緩沖裝置2，并由堅固的不銹鋼制成的外殼1固定，在裝置整體受到碰撞、沖擊時緩沖裝置2保證石英內膽3不受破壞，整體安全性能大大提高。視鏡10的安裝使操作人員在需要時方便的觀察瓶內的化學品狀態，同時視鏡10內放置的甲基橙等指示劑可在泄漏出現時變色，從而提醒巡檢人員泄漏的出現，及時啟動相應應急反應，起到泄漏偵測的作用。密封裝置11主要包括密封墊片和卡箍，墊片放置在外殼部件的連接處，由卡箍從外側固定，從而保證輸送裝置整體的固定和安全，并在裝置發生傾斜、顛倒時保證化學品不直接噴射、濺撒，緩解化學品的外泄速度，以便操作人員及時采取相應措施。把手4的設置是為了在需要時方便轉移輸送裝置。

整套輸送裝置，不僅充分滿足了化學品的純度要求，同時大容積大大減少了原有的換瓶次數，增加了化學品的利用率，降低換瓶中的泄露風險，降低系統運行和維護成本，保證了化學品在輸送過程中的安全性，改善了可操作性，大大降低了物流風險。