[實用新型]太陽能電池沉積用放電電極組件

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201020223593.5
• 申請日: 2010-06-11
• 公開（公告）號: CN201756584U
• 公開（公告）日: 2011-03-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 何祝兵;胡盛明;李毅;李志堅;王春柱;周建華
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市創(chuàng)益科技發(fā)展有限公司
• 主分類號: C23C16/505
• 分類號: C23C16/505;H01L31/18
• 代理公司: 深圳市毅穎專利商標(biāo)事務(wù)所 44233
• 代理人: 張藝影;李奕暉

1.一種太陽能電池沉積用放電電極組件，包括電極板和其上的信號饋入口，其特征在于電極板的饋入口位于陰極板背面的中心區(qū)域下凹的圓形面內(nèi)，還包括端面是圓形的饋入組件，該饋入組件接射頻或甚頻功率電源的負(fù)極，饋入組件的圓形端面與電極板的信號饋入口面接觸連接，以面饋入射頻或甚頻功率電源信號；電極板的陰極板上設(shè)有接地的屏蔽罩，該屏蔽罩上開有通孔。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池沉積用放電電極組件，其特征在于所述的饋入組件包括絕緣層和外殼屏蔽層。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的太陽能電池沉積用放電電極組件，其特征在于所述的饋入組件還包括一個由腰部和頭部構(gòu)成階梯形狀的導(dǎo)電體。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的太陽能電池沉積用放電電極組件，其特征在于所述的饋入組件的腰部為扁平形，其頭部為圓形。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池沉積用放電電極組件，其特征在于所述饋入組件由銅質(zhì)饋入芯、絕緣層和外殼屏蔽層構(gòu)成。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池沉積用放電電極組件，其特征在于所述的電極板包括單面放電的陰極板、陶瓷絕緣層、屏蔽罩。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池沉積用放電電極組件，其特征在于所述的屏蔽罩覆蓋整個陰極板背面和側(cè)面。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池沉積用放電電極組件，其特征在于所述的電極板還包括陽極板的接地體，陰極和陽極之間具有放電間距。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池沉積用放電電極組件，其特征在于所述的屏蔽罩，還包括射頻或甚高頻功率電源信號饋入至陰極板背面的中心位置及四周側(cè)面的屏蔽。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池沉積用放電電極組件，其特征在于所述的饋入組件的另一端接包括射頻或甚高頻功率電源的陰極輸出口和功率電源匹配器。