[實用新型]準分子激光微加工系統(tǒng)的光具調節(jié)器

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201020218132.9
• 申請日: 2010-05-28
• 公開（公告）號: CN201716455U
• 公開（公告）日: 2011-01-19
• 發(fā)明（設計）人: 吳堅;李倩;陳濤;劉世炳
• 申請（專利權）人: 北京工業(yè)大學
• 主分類號: G02B7/00
• 分類號: G02B7/00;B23K26/08
• 代理公司: 北京思海天達知識產權代理有限公司 11203
• 代理人: 吳蔭芳

1.準分子激光微加工系統(tǒng)的光具調節(jié)器，包括與光學導軌配合的滑動座(1)、安裝在滑動座(1)上的可以前后調節(jié)的調節(jié)座(2)、安裝在調節(jié)座(2)上的可以左右調節(jié)的支撐板(3)、安裝在支撐板(3)上可以俯仰調節(jié)的鏡架(4)、固定在調節(jié)座(2)并包圍鏡架(4)的緊定位器(5)，其中鏡架(4)中設置有直徑大于80mm的光具孔(22)；其特征在于：還設置有反光斜架座(32)，調節(jié)座(2)通過反光斜架座(32)安裝在滑動座(1)上，該反光斜架座(32)頂部為夾角成90°的斜槽，斜槽的兩面分別設置有螺孔，用于固定調節(jié)座(2)；并且還設置有可放置于光具孔(22)內的可加持方形光學元件的方形光學元件調節(jié)器(23)。

2.如權利要求1所述的準分子激光微加工系統(tǒng)的光具調節(jié)器，其特征在于：所述方形光學元件調節(jié)器(23)的外圍形狀是與光具孔(22)相匹配的圓形，其內部是方形通孔，方形通孔的一對邊設置有相對的滑槽，并設置有一對平行的滑動桿(24)、(25)，滑動桿(24)、(25)兩端置于滑槽內，使滑動桿可在滑槽內良好滑動，兩個滑動桿在相對的一面上還設置有用于卡住光學元件的凹槽；方形通孔的另外一對邊上設置有對稱的兩對螺孔(26)、(27)、(28)、(29)，用于放入微調螺紋副驅動來推動滑動桿(24)、(25)移動；在通用方形設有滑槽的一對邊的中心位置設置有兩個相對的螺孔(30)、(31)，螺孔(30)、(31)內旋入可頂于方形光學元件側面以緊固光學元件的螺釘。

3.如權利要求1所述的準分子激光微加工系統(tǒng)的光具調節(jié)器，其特征在于：所述調節(jié)座(2)底部設置有對應的三個螺孔，可通過螺栓和螺母連接滑動座(1)或反光斜架座(32)；調節(jié)座(2)設有滑動凹槽，支撐板(3)插于調節(jié)座(2)的滑動凹槽中，支撐板(3)和調節(jié)座(2)的兩側設置有對稱的四個孔，在孔中固定拉力彈簧(13)、(14)用于拉緊并固定支撐板(3)和調節(jié)座(2)，滑動凹槽的兩側和底部兩端設置有四個螺孔，螺孔內旋入微調螺紋副驅動(6)、(7)、(8)、(9)，并在這四個螺孔旁設置相應的小螺孔(20)，用來作為微調螺紋副驅動的鎖緊機構，并且調節(jié)座(2)在與支撐板(3)的重疊處設置有四個緊固螺孔(19)，可使用螺釘頂住支撐板(3)，將調節(jié)座(2)與支撐板(3)緊固。

4.如權利要求1所述的準分子激光微加工系統(tǒng)的光具調節(jié)器，其特征在于：所述支撐板(3)和鏡架(4)為設有圓形光具孔(22)的板狀支架，支撐板(3)和鏡架(4)的初始位置平行設置，在支撐板(3)和鏡架(4)邊緣的側下方或側上方設有相鄰的對應的兩對螺孔(18)，并通過螺栓將支撐板(3)和鏡架(4)連接，在支撐板(3)和鏡架(4)的其余邊緣均勻設置至少兩對對應的通孔，通孔穿入拉簧將支撐板(3)和鏡架(4)連接，并且在兩對螺孔(18)處的支撐板(3)和鏡架(4)之間設置有鋼珠(10)作為旋轉基點，在支撐板(3)邊緣的正下方或正上方以及正右方或正左方還設置有兩個螺孔，用于放入微調螺紋副驅動(11)和(12)

5.如權利要求1所述的準分子激光微加工系統(tǒng)的光具調節(jié)器，其特征在于：所述緊定位器(5)四周側面均勻設置16至100個定位螺孔，螺孔內旋入螺釘，螺釘頂于鏡架(4)側面，將鏡架(4)與緊定位器(5)緊固。