[實(shí)用新型]射頻匹配器

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201020207007.8
• 申請(qǐng)日: 2010-05-28
• 公開（公告）號(hào): CN201717831U
• 公開（公告）日: 2011-01-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊友明;劉丕華;項(xiàng)亮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 常州瑞思杰爾電子科技有限公司
• 主分類號(hào): H03F3/189
• 分類號(hào): H03F3/189;H03F3/20;H03F1/56
• 代理公司: 常州市維益專利事務(wù)所 32211
• 代理人: 何學(xué)成

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種射頻匹配器。

背景技術(shù)

射頻匹配器的應(yīng)用廣泛，主要的具體領(lǐng)域?yàn)椋喊雽?dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域、等離子刻蝕、真空鍍膜、PECVD、等離子清洗、物理氣象沉積(PVD)、化學(xué)氣象沉積(CVD)、射頻濺射等等。目前市場(chǎng)上的射頻匹配器多為手動(dòng)射頻匹配器，使用起來(lái)十分不便，在系統(tǒng)設(shè)備啟動(dòng)后要不斷地手動(dòng)調(diào)整匹配器的阻抗而使輸出達(dá)到工藝的要求，無(wú)法實(shí)現(xiàn)應(yīng)用系統(tǒng)的全自動(dòng)控制，同時(shí)調(diào)節(jié)匹配的時(shí)間長(zhǎng)、工作效率低、設(shè)備使用費(fèi)用高。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)并輸出信號(hào)驅(qū)動(dòng)電機(jī)工作以實(shí)現(xiàn)電容自動(dòng)匹配的自動(dòng)射頻匹配器。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

射頻匹配器，包括一個(gè)信號(hào)檢測(cè)模塊，該信號(hào)檢測(cè)模塊用于檢測(cè)負(fù)載反饋的反射信號(hào)，并將該反射信號(hào)轉(zhuǎn)化為直流驅(qū)動(dòng)信號(hào)輸出；

以及一個(gè)控制模塊，該控制模塊包括放大電路，所述的放大電路用于將接收到的直流驅(qū)動(dòng)信號(hào)進(jìn)行放大后輸出；

以及一個(gè)傳動(dòng)執(zhí)行模塊，該傳動(dòng)執(zhí)行模塊用于接收經(jīng)過(guò)放大電路放大直流驅(qū)動(dòng)信號(hào)，并驅(qū)動(dòng)阻抗匹配器進(jìn)行與負(fù)載之間的阻抗匹配調(diào)整。

上述方案中信號(hào)檢測(cè)模塊檢測(cè)到反射信號(hào)后，將直流信號(hào)轉(zhuǎn)化為直流驅(qū)動(dòng)信號(hào)輸出至控制模塊，控制模塊將接收到的驅(qū)動(dòng)信號(hào)輸出給傳動(dòng)執(zhí)行模塊，以實(shí)現(xiàn)容量值的改變，從而達(dá)到調(diào)節(jié)阻抗的目的。

所述的控制模塊還包括用于阻抗匹配器的保護(hù)模塊，當(dāng)該保護(hù)模塊檢測(cè)到阻抗匹配器為最大值或最小值時(shí)控制所述的放大電路失去放大作用。

所述保護(hù)模塊包括可調(diào)電位器，該可調(diào)電位器用于獲知阻抗匹配器的調(diào)整情況，并將該調(diào)整情況轉(zhuǎn)換為電壓信號(hào)輸出；

以及與可調(diào)電位器連接的比較器，該比較器將來(lái)自于可調(diào)電位器的電壓信號(hào)與該比較器設(shè)定的電壓進(jìn)行比較后輸出一個(gè)控制信號(hào)；

以及與比較器連接的控制開關(guān)，該控制開關(guān)接收比較器輸出的控制信號(hào)后使所述放大電路失去放大作用。

所述的控制模塊還包括一個(gè)用于顯示阻抗匹配器容量的容量顯示器，該容量顯示器與控制模塊連接。

所述放大電路包括一級(jí)放大器、二級(jí)放大器以及三級(jí)放大器。

所述傳動(dòng)執(zhí)行模塊包括傳動(dòng)齒輪組以及連接于放大電路輸出端的直流電機(jī)，傳動(dòng)齒輪組包括設(shè)置于直流電機(jī)輸出軸上的第一齒輪，以及用于連接在阻抗匹配器上的第二齒輪，以及連接在可調(diào)電位器上的第三齒輪，第一齒輪與第二齒輪嚙合，第二齒輪與第三齒輪嚙合。

所述第一齒輪、第二齒輪、第三齒輪的傳動(dòng)比為1.2∶1∶2.5。

上述方案中，經(jīng)檢測(cè)模塊輸出的信號(hào)經(jīng)一級(jí)放大器初級(jí)放大，再由二級(jí)放大器再次放大以驅(qū)動(dòng)三級(jí)放大器對(duì)信號(hào)進(jìn)行第三次放大后驅(qū)動(dòng)直流電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)。直流電動(dòng)機(jī)通過(guò)齒輪組可帶動(dòng)真空電容和可調(diào)電位器進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。當(dāng)可調(diào)電位器轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，會(huì)反饋一個(gè)電壓信號(hào)給比較器，當(dāng)可調(diào)電位器的反饋電壓信號(hào)達(dá)到極限時(shí)，則輸出一個(gè)低電平到控制開關(guān)，這時(shí)，二級(jí)放大器失去放大作用，三級(jí)放大器得不到足夠的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，直流電機(jī)停止轉(zhuǎn)動(dòng)，此時(shí)真空電容達(dá)到最大容量值，上述可調(diào)電位器的反饋電壓信號(hào)可通過(guò)容量顯示器顯示出來(lái)。通過(guò)直流電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)，可以帶動(dòng)真空電容轉(zhuǎn)動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)容量值的改變，從而達(dá)到調(diào)節(jié)阻抗的目的，同時(shí)，真空電容的轉(zhuǎn)動(dòng)可帶動(dòng)可調(diào)電位器的轉(zhuǎn)動(dòng)，可調(diào)電位器的轉(zhuǎn)動(dòng)則可以實(shí)現(xiàn)對(duì)真空電容容量值的電壓反饋。

所述信號(hào)檢測(cè)模塊包括定向耦合器，以及與該定向耦合器連接的信號(hào)處理電路。

所述信號(hào)處理電路包括第一濾波器，與該第一濾波器連接的第一功率分配器，以及與該第一功率分配器連接的第一檢測(cè)器；

以及第二濾波器，與該第二濾波器連接的第一移電路，以及與第一移相電路連接的第二功率分配器，以及與第二功率分配器連接的第二移相電路，以及與第二移相電路連接的第二檢測(cè)器；

所述第一功率分配器還與第二檢測(cè)器連接，所述第二功率分配器還與第一檢測(cè)器連接。