[實用新型]高功率半導(dǎo)體激光器模塊的檢測裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201020202476.0
• 申請日: 2010-05-21
• 公開（公告）號: CN201672973U
• 公開（公告）日: 2010-12-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 辛國鋒;瞿榮輝;蔡海文;方祖捷;陳高庭;沈力;皮浩洋
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所
• 主分類號: G01J9/00
• 分類號: G01J9/00;G01J1/00
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 張澤純

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及高功率半導(dǎo)體激光器模塊，特別是一種高功率半導(dǎo)體激光器模塊的測試裝置。

背景技術(shù)

高功率半導(dǎo)體激光器具有體積小、效率高、閾值低、工作壽命長等優(yōu)點，用于作為固體激光器泵浦光源或直接光源已進(jìn)入研制系統(tǒng)，具有千瓦級的高功率半導(dǎo)體激光器陣列也直接進(jìn)入了工業(yè)應(yīng)用。在很多的應(yīng)用領(lǐng)域需要對激光介質(zhì)(棒狀)進(jìn)行側(cè)面泵浦，所以就出現(xiàn)了半圓環(huán)形或圓環(huán)形的封裝結(jié)構(gòu)的高功率半導(dǎo)體激光器模塊，目前只能通過在未封裝之前測試每個高功率半導(dǎo)體激光器的性能來推斷封裝成形后的性能，封裝后的功率性能影響會不大，但其波長由于封裝中散熱裝置的不同會發(fā)生漂移，模塊中波長分布不均勻會導(dǎo)致泵浦激光介質(zhì)由于吸收不同而造成熱分布的不均勻，從而導(dǎo)致整個固體激光器的光束質(zhì)量等性能的下降，所以需要對這兩種封裝結(jié)構(gòu)的高功率半導(dǎo)體激光器模塊的波長分布和相對功率分布等性能進(jìn)行測試。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型的目的在于克服上述現(xiàn)有測試方法的不足，提供一種高功率半導(dǎo)體激光器模塊的測試裝置，該裝置對于半圓環(huán)形或圓環(huán)形的封裝結(jié)構(gòu)的高功率半導(dǎo)體激光器的測量具有結(jié)構(gòu)簡單、制作成本低、操作方便等優(yōu)點。

本實用新型的技術(shù)解決方案如下：

一種高功率半導(dǎo)體激光器模塊的測試裝置，特點在于該裝置包括測試棒、測試棒固定夾具、聚焦透鏡、導(dǎo)光光纖和探測器，所述的測試棒是由一端具有45°斜截面并鍍有對激光二極管波長的高反膜，另一端截面為正圓面的兩根結(jié)構(gòu)相同的透明材料棒且所述的斜截面相對共軸膠合而成，測試棒置于所述的測試棒固定夾具上，在所述的測試棒的一端或兩端外設(shè)置所述的聚焦透鏡，所述的導(dǎo)光光纖的一端位于所述的聚焦透鏡的焦點，另一端接所述的探測器的輸入端。

所述的測試棒為實心棒或空心棒。

所述的測試棒由晶體或玻璃材料制成。

所述的探測器為光譜儀或功率計。

利用本實用新型裝置對高功率半導(dǎo)體激光器模塊進(jìn)行測試的方法，該方法包括下列步驟：

①所述的高功率半導(dǎo)體激光器模塊是由多個半導(dǎo)體激光二極管封裝成發(fā)光指向軸心的圓環(huán)或半圓環(huán)的高功率半導(dǎo)體激光器模塊，將所述的測試棒穿過待測的圓環(huán)或半圓環(huán)的高功率半導(dǎo)體激光器模塊并固定在測試棒固定夾具上，調(diào)節(jié)好測試光路；

②啟動所述的高功率半導(dǎo)體激光器模塊的電源，與所述的測試棒斜截面相對的半導(dǎo)體激光二極管發(fā)出的光經(jīng)所述的測試棒斜截面反射后沿測試棒的軸向出射，由所述的聚焦透鏡聚焦，經(jīng)導(dǎo)光光纖輸入到所述的光譜儀或功率計進(jìn)行波長和功率檢測；

③驅(qū)使所述的測試棒繞其軸線旋轉(zhuǎn)，使所述的測試棒的斜截面與所述的圓環(huán)或半圓環(huán)的高功率半導(dǎo)體激光器模塊的半導(dǎo)體激光二極管一一地相對，所述的光譜儀或功率計依次記錄與所述的測試棒斜截面相對的半導(dǎo)體激光二極管的激光波長和激光功率，當(dāng)所述的測試棒繞其軸線旋轉(zhuǎn)一周，即完成一個圓環(huán)或半圓環(huán)的高功率半導(dǎo)體激光器模塊的測試；

④重復(fù)步驟①②③就可以完成對另一個圓環(huán)或半圓環(huán)的激光器模塊的測試；

⑤對測試結(jié)果進(jìn)行分析比較，根據(jù)需要對所測試的圓環(huán)或半圓環(huán)的高功率半導(dǎo)體激光器模塊進(jìn)行篩選。

所述的第①步，將所述的測試棒同時穿過多個待測的圓環(huán)或半圓環(huán)的高功率半導(dǎo)體激光器模塊并固定在測試棒固定夾具上，則只需將測試棒沿軸線方向移動位置并進(jìn)行旋轉(zhuǎn)測試，即可完成多個圓環(huán)或半圓環(huán)的高功率半導(dǎo)體激光器模塊的檢測。

本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點：

1.通過沿該測試棒的軸線進(jìn)行旋轉(zhuǎn)和沿其軸線進(jìn)行移動，可以測試半圓形或圓形高功率半導(dǎo)體激光器模塊的波長分布和相對功率分布，為激光器波長篩選與其封裝次序提供可靠的數(shù)據(jù)，從而提高泵浦效率和固體激光器光束質(zhì)量等性能。

2.測試過程中，構(gòu)成模塊的每個半導(dǎo)體激光器同時工作不會由于相互照射造成其性能下降和工作性能的不穩(wěn)定性。因此該測試方法和裝置具有安全、操作方便、成本低廉、測量準(zhǔn)確等優(yōu)點。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例1的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型實施例2的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實用新型實施例3的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實用新型實施例4的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本實用新型實施例5的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為本實用新型實施例6的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

下面結(jié)合實施例和附圖對本實用新型作進(jìn)一步說明。