[實用新型]一種熱絲張緊機構

無效

• 申請號: 201020202112.2
• 申請日: 2010-05-25
• 公開（公告）號: CN201695087U
• 公開（公告）日: 2011-01-05
• 發明（設計）人: 晏雙利
• 申請（專利權）人: 晏雙利
• 主分類號: C23C16/27
• 分類號: C23C16/27
• 代理公司: 北京東方匯眾知識產權代理事務所(普通合伙) 11296
• 代理人: 劉淑芬

技術領域

本實用新型屬于化學氣相沉積金剛石領域，特別是涉及熱絲化學氣相沉積金剛石設備中的一種熱絲張緊機構。

背景技術

利用熱絲化學氣相沉積方法制備金剛石膜(厚膜或涂層)時(即CVD金剛石)，必須要用到加熱絲(鉭絲或鎢絲)。在使用時，熱絲要由一個機構進行固定，同時要求在真空爐中加熱這個熱絲時，熱絲必須要能夠保持平直、繃緊，這對金剛石的生產至關重要。

中國專利ZL200720086710.6公開了一種熱絲恒張力懸掛裝置。它包括第一電極、第二電極、鉤狀電極引線、活塞式可移動電極組件、金屬導線、導電金屬桿、陶瓷絕緣體、滑輪組、第一電極金屬引線、砝碼、第一電極支撐架、滑輪組支撐架、第二點擊金屬引線、第二電極支撐架，第二電極的圓管通孔內設有活塞式可移動電極組件，第二牽引線的的左端與陶瓷絕緣體固定連接，第二牽引線的右端經過滑輪組后于砝碼固定連接。但是上述專利存在以下的問題：1、結構復雜；2、利用砝碼懸掛來牽引熱絲，砝碼只有固定的重量規格，會使對熱絲的調節不到位。

實用新型內容

本實用新型的目的是要克服現有技術中的缺點，提供一種結構簡單、安裝方便并且使用效果好的熱絲張緊機構。它能夠使得在利用熱絲化學氣相沉積方法制備金剛石膜的過程中始終使熱絲保持平直、繃緊的狀態。

本實用新型一種熱絲張緊機構，所述熱絲張緊機構包括第一橫梁、第二橫梁、支撐條、橫條、固定電極、活動電極、活動螺釘及彈簧；所述第一橫梁與第二橫梁平行相對；所述固定電極一端帶鉤并固定在第一橫梁上；所述活動電極兩端帶鉤，通過活動螺釘安裝在第二橫梁上；所述支撐條有兩根，一端都固定在第二橫梁上，另一端都與橫條固定，形成固定架；所述彈簧一端連接在活動電極上，另一端固定在橫條上。

進一步的，上述技術方案中，所述第一橫梁、第二橫梁采用鎢桿或鉬桿。

進一步的，上述技術方案中，所述支撐條材質為耐高溫可加工絕緣陶瓷。

進一步的，上述技術方案中，所述橫條材質為鉬或不銹鋼。

進一步的，上述技術方案中，所述固定電極及活動電極的材料為：鉭或鉬。

進一步的，上述技術方案中，所述活動螺釘材料為鎢或鉬。

進一步的，上述技術方案中，所述活動電極中心開有長方形孔或槽，所述活動螺釘通過長方形孔或槽安裝。

本實用新型一種熱絲張緊機構，其作用是在金剛石制備過程中，隨著電流增加，加熱絲由于被加熱而拉長變形，但其變形量隨即被彈簧所吸收，即可使加熱絲一直處于平直狀態。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖，具體闡述本實用新型的技術方案。

本實用新型的熱絲張緊機構包括第一橫梁1、第二橫梁2、支撐條3、橫條4、固定電極5、活動電極6、活動螺釘7及彈簧8；第一橫梁1與第二橫梁2采用鎢桿或鉬桿材質，呈平行相對設置；固定電極5一端帶鉤并固定在第一橫梁上；活動電極兩端帶鉤，用鎢或鉬材料的活動螺釘7將其安裝在第二橫梁2上，活動螺釘7擰緊時將其固定，松開時則其可作左右的橫向位移，使得在彈簧的拉力下能及時拉起因加熱變長的熱絲而不下垂；支撐條3有兩根，一端都固定在第二橫梁2上，另一端都與橫條4固定，第二橫梁2、支撐條、橫條形成穩定的固定架結構；彈簧8一端連接在活動電極的鉤上，另一端固定在橫條4上；上述支撐條材質為耐高溫可加工絕緣陶瓷；橫條材質為鉬或不銹鋼；固定電極及活動電極的材料為：鉭或鉬。

所述活動電極中心開有長方形孔或槽9，所述活動螺釘通過長方形孔或槽安裝，使活動電極能在熱絲被加熱前繞絲時向左(彈簧收縮的反方向)有一個位移，并且能夠被活動螺釘固定在第二橫梁2上，絲架安裝好后，活動螺釘要松開，依靠熱絲的拉力保持位移，在熱絲被加熱后，熱絲變長，變形量隨時被彈簧吸收。

本實用新型在具體使用時，按如下方法：

1、在爐外，按圖所示布置加熱絲，使加熱絲繞在固定電極與活動電極的鉤上，并且使活動電極的右端緊靠第二橫梁中心孔，擰緊活動螺釘。此時的加熱絲應繃緊，不得有垂落、彎曲。

2、整個機構放入加熱爐后，與爐內電極柱連接好，松開活動螺釘。隨著電流增大，熱絲被加熱變長，在彈簧作用下，活動電極向右橫向位移，熱絲的變形量隨即被彈簧所吸收，可使加熱絲一直處于平直狀態。