[實用新型]柱狀電極靶材裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201020194925.1
• 申請日: 2010-05-11
• 公開（公告）號: CN201737999U
• 公開（公告）日: 2011-02-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊宏河;林偉德;張元銘;廖泯諺;孫湘平
• 申請（專利權(quán)）人: 富臨科技工程股份有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 湯保平

1.一種柱狀電極靶材裝置，其特征在于，包括：

一中空柱狀電極殼體，具有一內(nèi)腔體；

至少一靶材，圍繞該中空柱狀電極殼體的外側(cè)而配置；

一托座，其中，該中空柱狀電極殼體組設(shè)于該托座上；

一第一管，部份配置于該內(nèi)腔體中，且該第一管與該內(nèi)腔體連通；

一第二管，連通至該內(nèi)腔體；

多個磁石支撐件，容置于該內(nèi)腔體中，并圍繞該第一管而配置；以及

多個磁石陣列，與該磁石支撐件連接；

其中，該每一磁石支撐件配置有一組該磁石陣列。

2.如權(quán)利要求1所述的柱狀電極靶材裝置，其特征在于，其中，垂直該第一管的軸向的一平面配置有二個以上的磁石支撐件。

3.如權(quán)利要求1所述的柱狀電極靶材裝置，其特征在于，其中，該磁石陣列是一M×N的陣列，M及N皆為整數(shù)，且M≥1以及N＞1。

4.如權(quán)利要求1所述的柱狀電極靶材裝置，其特征在于，其中，該每一磁石支撐件與該第一管之間配置有一旋轉(zhuǎn)單元。

5.如權(quán)利要求1所述的柱狀電極靶材裝置，其特征在于，其中還包括一固定單元、以及一支撐單元，該支撐單元配置于該托座與該中空柱狀電極殼體之間，該固定單元配置于該中空柱狀電極殼體外，其中，該支撐單元包括有一支撐塊以及一支撐彈簧。

6.如權(quán)利要求5所述的柱狀電極靶材裝置，其特征在于，其中，該固定單元包括有一固定座以及至少一固定元件，該固定座包括有至少一容柱槽，且該至少一固定元件容置于該至少一容柱槽內(nèi)。

7.如權(quán)利要求1所述的柱狀電極靶材裝置，其特征在于，其中，還包括一密封墊，配置于該中空柱狀電極殼體與該托座之間。

8.如權(quán)利要求1所述的柱狀電極靶材裝置，其特征在于，其所包括的該靶材的數(shù)目是二個以上，且該二個以上的靶材圍繞該中空柱狀電極殼體的外側(cè)而配置。

9.如權(quán)利要求1所述的柱狀電極靶材裝置，其特征在于，其中，該磁場單元的磁石為永久磁鐵。

10.如權(quán)利要求1所述的柱狀電極靶材裝置，其特征在于，其中，還包括一電源供應(yīng)源，與該托座電性耦接。