[實用新型]測量鏡面反射表面的相對位置的裝置有效
| 申請號： | 201020189349.1 | 申請日： | 2010-04-30 |
| 公開（公告）號： | CN201803699U | 公開（公告）日： | 2011-04-20 |
| 發明（設計）人： | S·波塔彭科 | 申請（專利權）人： | 康寧股份有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/02 | 分類號： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 31100 | 代理人： | 劉佳 |
| 地址： | 美國*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 測量 反射 表面 相對 位置 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于測量對象的鏡面反射面沿測量線的相對位置的裝置，包括：
光源，所述光源產生會聚于所述測量線上的標稱位置處的至少一個光束，并形成來自所述鏡面反射面的反射光束；
光檢測器，所述光檢測器在檢測器平面處記錄所述反射光束的圖像；以及
數據分析儀，所述數據分析儀從所述光檢測器接收記錄、處理并分析所述記錄以確定所述反射光束的圖像在所述檢測器平面中的位置、以及將所述位置轉換成所述鏡面反射面沿所述測量線離所述標稱位置的位移。
2.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，還包括成像透鏡，其中所述成像透鏡和所述檢測器平面定位和取向成使所述成像透鏡將所述測量線聚焦在所述檢測器平面上。
3.如權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述成像透鏡是物鏡或移軸鏡。
4.如權利要求1到3中的任一項所述的裝置，其特征在于，所述光源適于產生會聚于標稱位置的多個光束。?
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