[實用新型]真空磁力傳動裝置

在審

• 申請號: 201020188722.1
• 申請日: 2010-05-06
• 公開（公告）號: CN201674381U
• 公開（公告）日: 2010-12-15
• 發明（設計）人: 楊明生;余超平;劉惠森;范繼良;王勇;王曼媛;張華
• 申請（專利權）人: 東莞宏威數碼機械有限公司
• 主分類號: H02K51/00
• 分類號: H02K51/00
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司 44202
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

技術領域

本實用新型涉及一種傳動裝置，尤其涉及一種真空磁力傳動裝置。

背景技術

機械傳動裝置可以將動力所提供的運動的方式、方向或速度加以改變，被人們有目的地加以利用。常見的傳動裝置，主要有齒輪傳動、皮帶傳動和液壓式傳動，均需要主動部件和被動部件相互接觸才可以實現機械運動的傳遞，因此，在許多主動部分和被動部分需要進行封閉隔離而又必須有效傳遞機械運動時，利用這些傳統傳動裝置，是很難實現的。例如，隨著真空技術的發展，玻璃基材等薄板已廣泛用于制造LCD-TFT顯示屏、有機發光顯示器件(OLED)面板、薄膜太陽能面板應用及其他類似者。于此類應用中大多在潔凈玻璃上鍍覆薄膜晶體管，這類大型玻璃基材的制程通常包含實施多個連續步驟，包括如化學氣相沉積制程(CVD)、物理氣相沉積制程(PVD)、有機物質蒸鍍、磁控濺射沉積或蝕刻制程，該制程的工藝要求比較嚴格，大部分必須在真空狀態下以及完全潔凈的空間環境中進行，通過傳動裝置實現腔體內外動力的傳遞，此過程中如果密封不好、真空環境不足將嚴重影響輝光放電的程度，同時空氣中的氧氣和水汽也會將靶材侵蝕，導致磁控濺射制程中斷或/和沉積薄膜受到影響。在真空傳動裝置中，動力源一般由外部傳到內部這樣首先就要解決的是傳動系統與真空室間的密封，現有技術中，對真空腔的動力傳動大都采用機械式傳動，不容易實現密封，傳動效率低且容易破壞真空環境，且對于元部件的要求較高，另一方面存在不穩定性，多次重復的接觸動作容易導致傳動器件的磨損從而影響傳動效果和密封要求。

因此，急需一種傳動效率高，傳動平穩，容易控制，成本低且實用性及通用性強的真空磁力傳動裝置。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種傳動效率高，傳動平穩，容易控制，成本低且實用性及通用性強的真空磁力傳動裝置。

為了實現上述目的，本實用新型的技術方案為：提供一種真空磁力傳動裝置，包括安裝板、外軸套、隔套、內軸套、傳動軸、若干外磁體及若干內磁體，所述安裝板呈豎直置放，所述外軸套位于所述安裝板的一側并在與所述安裝板相對的一端的端面上開設有圓槽，所述圓槽內開設有軸孔，所述圓槽的壁上開設有若干均勻分布的外容置槽，所述外磁體極性一致地容置于所述外容置槽內，所述隔套具有中空結構并套設于所述圓槽內，所述隔套的一端的中央部位向所述軸孔水平凸伸形成凸軸，所述凸軸容置于所述軸孔內并與所述軸孔樞接，所述隔套的另一端的末端分別沿所述安裝板向外凸伸形成底座，所述底座與所述安裝板固定連接，所述隔套與所述外軸套的圓槽的內壁之間具有一定的間隙，所述隔套的底座凸伸于所述外軸套并與所述外軸套之間保持一定的間隙，所述安裝板上開設有通孔，所述內軸套容置于所述隔套的中空結構內，所述內軸套上開設有若干與所述外軸套的外容置槽對應的內容置槽，所述內磁體極性一致地容置于所述內容置槽內，所述內磁體與所述外磁體分布于同一平面上，所述傳動軸一端與所述內軸套固定連接，所述傳動軸的另一端穿過所述通孔并與所述通孔樞接。

較佳地，所述凸軸與所述軸孔之間以及所述傳動軸與通孔之間分別設有軸承。通過軸承更好地實現凸軸與軸孔之間的樞接以及傳動軸與通孔之間的樞接，且同時避免所述凸軸、軸孔、傳動軸及通孔在傳動過程中受損，從而使傳動更平穩可靠。

較佳地，所述隔套的底座與安裝板之間設有密封圈，通過設置密封圈，加強隔套的密封性能。

較佳地，所述內軸套上開設有安裝槽，所述傳動軸上對應設有與所述安裝槽相配合的鍵，所述鍵卡置于所述安裝槽內，通過鍵與安裝槽的配合，使內軸套與傳動軸的固定連接簡單可靠，結構緊湊。

作為本實用新型的一個實施例，所述安裝板為真空腔體的側壁，所述隔套的底座固定在所述側壁外部，所述外軸套與所述隔套位于所述真空腔體外，所述傳動軸一端與所述內軸套固定連接，另一端穿過所述通孔并伸入所述真空腔體內。當外力施加帶動外軸套旋轉運動時，由于外磁體對內磁體的作用，從而帶動內軸套和傳動軸的轉動，實現將動力由外軸套傳遞到真空腔體內。

作為本實用新型的另一實施例，所述安裝板為真空腔體的側壁，所述隔套的底座固定在所述側壁內部，所述外軸套與所述隔套位于所述真空腔體內，所述傳動軸一端與所述內軸套固定連接，另一端穿過所述通孔并伸出所述真空腔體外。當外力施加帶動傳動軸旋轉運動時，由于內磁體對外磁體的作用，從而帶動外軸套轉動，實現將動力由傳動軸傳遞到真空腔體內。