[實用新型]化學試劑供應裝置

無效

• 申請號: 201020180828.7
• 申請日: 2010-04-29
• 公開（公告）號: CN201680151U
• 公開（公告）日: 2010-12-22
• 發明（設計）人: 譚勇;姚念;銀宗強;郗志通;羅鈺萌
• 申請（專利權）人: 武漢新芯集成電路制造有限公司;中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: F17D1/04
• 分類號: F17D1/04;F17D1/08
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種化學試劑供應裝置，其特征在于，包括：

回收管路，其一端連接儲存有化學試劑的供應單元，另一端連接儲液單元；

第一供氣管路，其一端連接所述儲液單元，另一端連接第一三通接頭；

第二供氣管路，其一端連接所述第一三通接頭，另一端連接氣體供應單元；

第一排氣管路，其一端連接所述第一三通接頭，另一端連接氣體排放單元。

2.如權利要求1所述的化學試劑供應裝置，其特征在于，所述第一排氣管路上設置有第一排氣控制閥。

3.如權利要求1所述的化學試劑供應裝置，其特征在于，還包括第二排氣管路，其一端連接所述儲液單元，其另一端連接廢氣排放單元。

4.如權利要求3所述的化學試劑供應裝置，其特征在于，所述第二排氣管路上設置有第二排氣控制閥。

5.如權利要求1所述的化學試劑供應裝置，其特征在于，所述第二供氣管路上設置有第二供氣控制閥。

6.如權利要求1至5中任意一項所述的化學試劑供應裝置，其特征在于，所述回收管路包括：

第一輸液管路，其一端連接所述供應單元，另一端連接第二三通接頭；

第二輸液管路，其一端連接所述第二三通接頭，另一端連接第三三通接頭，

第三輸液管路，其一端連接所述第三三通接頭，另一端連接第四三通接頭；

第四輸液管路，其一端連接所述第四三通接頭，另一端連接所述儲液單元。

7.如權利要求6所述的化學試劑供應裝置，其特征在于，所述第一輸液管路上設置有法蘭。

8.如權利要求6所述的化學試劑供應裝置，其特征在于，所述第一輸液管路上還設置有第一輸液手動閥。

9.如權利要求6所述的化學試劑供應裝置，其特征在于，所述第一輸液管路上還設置有第一輸液氣動閥。

10.如權利要求6所述的化學試劑供應裝置，其特征在于，所述第二輸液管路上設置有第二輸液控制閥。

11.如權利要求6所述的化學試劑供應裝置，其特征在于，所述第三輸液管路上設置有第一過濾單元。

12.如權利要求6所述的化學試劑供應裝置，其特征在于，所述第四輸液管路上設置有第四輸液控制閥。

13.如權利要求6所述的化學試劑供應裝置，其特征在于，還包括第五輸液管路，其一端連接所述儲液單元，另一端連接所述第三三通接頭。

14.如權利要求13所述的化學試劑供應裝置，其特征在于，所述第五輸液管路上設置有第五輸液控制閥。

15.如權利要求13所述的化學試劑供應裝置，其特征在于，所述第五輸液管路上還設置有泵。

16.如權利要求13所述的化學試劑供應裝置，其特征在于，所述第五輸液管路還設置有氣液分離單元。

17.如權利要求16所述的化學試劑供應裝置，其特征在于，還包括第三排氣管路，其一端連接所述氣液分離單元，其另一端連接所述氣體排放單元。

18.如權利要求17所述的化學試劑供應裝置，其特征在于，所述第三排氣管路上設置有第三排氣控制閥。

19.如權利要求6所述的化學試劑供應裝置，其特征在于，還包括第六輸液管路，其一端連接所述第四三通接頭，另一端連接所述供應單元。

20.如權利要求19所述的化學試劑供應裝置，其特征在于，所述第六輸液管路上設置有第六輸液控制閥。

21.如權利要求6所述的化學試劑供應裝置，其特征在于，還包括第七輸液管路，其一端連接所述第二三通接頭，另一端連接使用端。

22.如權利要求21所述的化學試劑供應裝置，其特征在于，所述第七輸液管路上設置有第二過濾單元。

23.如權利要求21所述的化學試劑供應裝置，其特征在于，所述第七輸液管路上還設置有第七輸液控制閥。

24.如權利要求21所述的化學試劑供應裝置，其特征在于，所述第七輸液管路上還設置有閥箱。