[實用新型]高純度三氯氧磷鼓泡裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201020180012.4
• 申請日: 2010-04-30
• 公開（公告）號: CN201670726U
• 公開（公告）日: 2010-12-15
• 發(fā)明（設計）人: 向東;舒驍驥
• 申請（專利權）人: 向東
• 主分類號: C01B25/10
• 分類號: C01B25/10
• 代理公司: 徐州市淮海專利事務所 32205
• 代理人: 胡亞輝

技術領域

本實用新型涉及一種使用劇毒危險品高純度三氯氧磷時所用的鼓泡裝置。

背景技術

高純度的三氯氧磷(99.9999％～99.99999％)是生產制造光纖預制棒的主要原材料之一，也是集成電路、太陽能電池、電子元器件生產過程的擴散、摻雜工藝中的主要原料，被廣泛運用于光伏、IC產業(yè)。但其屬于強腐蝕性、強氧化性、劇毒、遇水劇烈反應的無色透明化學品。目前在高純度三氯氧磷使用時主要是直接使用石英源瓶通入高純氮氣，利用高純氮氣作為載氣將三氯氧磷帶出，其缺點是不安全、不可靠、容易泄漏而污染環(huán)境，隨著石英源瓶內三氯氧磷量的減少，后續(xù)氮氣所帶出的物料量會逐步減少，造成使用端物料的不均勻，從而在使用時終端產品質量的不穩(wěn)定。

發(fā)明內容

本實用新型的目的是提供一種結構簡單、安全可靠、無泄漏、無污染、使用時出料連續(xù)穩(wěn)定的高純度三氯氧磷鼓泡裝置。

本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的：進氣管和進料管插入筒體并穿過篩板與篩板焊接加固，筒體內的篩板為一片或多片，筒體上部有出氣管，進氣管、進料管和出氣管分別連接有閥門。

由于本實用新型采用上述結構，該裝置結構簡單，使用安全可靠，無泄漏不污染、鼓泡均勻，三氯氧磷的消耗量與加入量平衡，可保證連續(xù)穩(wěn)定的物料供給，該裝置采用高純石英或PFA等其他非金屬材料制作，完全避免金屬雜質對物料的污染，保證物料的純度。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例的結構圖。

圖中1進氣管、2出氣管、3進料管、4篩板、5閥門、6筒體。

具體實施方式

實施例：進氣管1和進料管3插入筒體6并穿過篩板4與篩板4焊接加固，底端距筒體6底部4～6mm，筒體6內的篩板4為一片或多片，筒體6上部有出氣管2，進氣管1、進料管3和出氣管2分別連接有閥門5。閥門5均是聚四氟乙烯閥門，進氣管1通過閥門5接入高純氮氣，出氣管2通過閥門5連接物料使用管，進料管3通過閥門5接入高純三氯氧磷。

使用時在高純三氯氧磷鼓泡裝置內按磷擴散工藝需求裝入一定量的高純三氯氧磷，通過冷卻裝置將物料調節(jié)到20℃，開啟現(xiàn)場的高純氮氣，打開出氣管2上部的閥門5，再打開進氣管1上部的閥門5，然后打開進料管3上部的閥門6后，開啟進料裝置控制進料管的進料量在0.01--50ml/min，可連續(xù)供料保證穩(wěn)定運行。