[實(shí)用新型]具有中心定位特征的噴淋頭電極及其組件

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201020176042.8
• 申請日: 2010-04-07
• 公開（公告）號: CN201898113U
• 公開（公告）日: 2011-07-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 巴巴克·卡德庫達(dá)彥;安東尼·德拉列拉
• 申請（專利權(quán)）人: 朗姆研究公司
• 主分類號: H01J37/04
• 分類號: H01J37/04;H01J37/32
• 代理公司: 上海勝康律師事務(wù)所 31263
• 代理人: 周文強(qiáng);李獻(xiàn)忠

1.一種用作電容耦合等離子體處理室的上電極的噴淋頭電極，包含：

在底面上具有等離子體暴露表面、在頂面上具有安裝表面的圓板，該底面包括在該板的外部圓周上的內(nèi)部臺階；

其中：

該內(nèi)部臺階被配置為與圍繞該噴淋頭電極的外部電極的一部分匹配從而該外部電極的內(nèi)部錐體形表面從該等離子體暴露表面的外緣延伸；

該安裝表面包括被配置為接收中心定位環(huán)的環(huán)形通道和被配置為接收定位銷的多個定位銷缺口，該多個定位銷缺口以與墊板中的定位銷孔相匹配的圖案排列，該板由該夾緊環(huán)面對該墊板固定；

該板包括以與該墊板中的氣體供應(yīng)口相匹配的圖案排列的處理氣體出口，該氣體出口與在該頂面和該底面之間延伸的氣體通道互通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極，其中該環(huán)形通道位于該板中心的中心氣體出口和一排環(huán)形間隔開的氣體出口之間，該定位銷缺口包括至少一個在該環(huán)形通道的相對側(cè)的中間銷缺口以及在該頂面覆蓋該內(nèi)部和外部臺階的外部區(qū)域中環(huán)形間隔開的多個銷缺口。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極，其中該板是單晶硅。?

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極，其中該氣體出口包括在該中心氣體出口和該內(nèi)部臺階之間的13個環(huán)形排的圖案。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電極，其中該13個環(huán)形排包括10個等距間隔開的內(nèi)部排，其間隔距離大于3個外部排的間隔距離。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極，其進(jìn)一步包括外部臺階，其中該外部臺階包括從該外部圓周向內(nèi)延伸第一距離的水平表面，該內(nèi)部臺階包括從該外部臺階向內(nèi)延伸第二距離的水平表面，該第一距離比該第二距離至少大兩倍。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電極，其中該板具有平行的頂面和底面，該頂面和底面支架你的厚度不大于0.5英寸，該外部臺階的水平表面與該頂面間隔開第一豎直距離，該內(nèi)部臺階的水平表面與該底面間隔開第二豎直距離，而較高臺階的水平表面與較低臺階的水平表面間隔開第三距離，該第一豎直距離大于該第二豎直距離，而該第二豎直距離大于該第三豎直距離。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電極，其中該環(huán)形通道的內(nèi)徑為約0.24英寸，外徑為約0.44英寸，深度為約0.1英寸。

9.一種包含權(quán)利要求1所述的電極、墊板和中心定位環(huán)的噴淋頭電極組件，其中在環(huán)境溫度下，該墊板包括被配置為接收該中心定位環(huán)的環(huán)形通道，而該中心定位環(huán)的內(nèi)壁通過摩擦嚙合該噴淋頭電極中的該環(huán)形通道的內(nèi)壁，而該中心定位環(huán)的外壁通過摩擦嚙合該墊板中的該環(huán)形通道的外壁。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的電極組件，其中該噴淋頭電極是硅而該墊板是鋁，該噴淋頭電極組件可在20到200℃的溫度下操作而該中心定位環(huán)是由比硅更能延展的材料制成的從而該中?心定位環(huán)的內(nèi)壁從該噴淋頭電極中該通道的內(nèi)壁脫離，同時該中心定位環(huán)的內(nèi)壁的上部通過摩擦嚙合該墊板中的通道的內(nèi)壁從而保持該噴淋頭電極和該墊板的中的氣孔的對準(zhǔn)。

11.一種包含權(quán)利要求1所述的電極的噴淋頭電極組件，其中一種可以操作以通過摩擦將墊板固定到該噴淋頭電極的中心定位環(huán)，且其中該中心定位環(huán)是由聚合物材料制成的，高度為約0.3英寸，內(nèi)徑為約0.24英寸而外徑為約0.44英寸。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的噴淋頭電極組件，其中在環(huán)境溫度下，該中心定位環(huán)的內(nèi)壁可操作以通過摩擦嚙合該噴淋頭電極的環(huán)形通道的內(nèi)壁，而該中心定位環(huán)的外壁可操作以通過摩擦嚙合該墊板中的環(huán)形通道的外壁。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的噴淋頭電極組件，其中該中心定位環(huán)是由比該噴淋頭電極更能延展的材料制成的，從而該中心定位環(huán)的內(nèi)壁的下部從該噴淋頭電極的通道的內(nèi)壁脫離，同時該中心定位環(huán)的內(nèi)壁的上部通過摩擦嚙合該墊板中的通道的內(nèi)壁。?