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[實用新型]一種真空壓力控制器無效

專利信息
申請號: 201020173910.7 申請日: 2010-04-29
公開(公告)號: CN201780511U 公開(公告)日: 2011-03-30
發明(設計)人: 孫寶云;董金泉 申請(專利權)人: 中國科學院高能物理研究所
主分類號: G05D16/06 分類號: G05D16/06
代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司 72003 代理人: 呂俊清
地址: 100049 北*** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 真空 壓力 控制器
【權利要求書】:

1.一種真空壓力控制器,用來控制儀器系統(1)的真空度或壓力,其特征在于,包括:

密封在密封盒(2)中的兩個真空度控制單元或壓力控制單元(3、4);

與所述第一個真空度控制單元或壓力控制單元(3)相連的抽氣電磁閥(5),所述抽氣電磁閥(5)還連接有抽氣管路(7);

與所述第二個真空度控制單元或壓力控制單元(4)相連的進氣電磁閥(6),所述進氣電磁閥(6)還連接有進氣管路(8);

為所述真空控制器供電的電源(12);

其中所述真空控制器的所述抽氣電磁閥(5)、第一個真空度控制單元或壓力控制單元(3)、第二個真空度控制單元或壓力控制單元(4)以及進氣電磁閥(6)分別通過連通管路(91、92、93、94)與所述儀器系統(1)連接。

2.根據權利要求1所述的真空壓力控制器,其特征在于,所述真空度控制單元為電接點真空表。

3.根據權利要求1所述的真空壓力控制器,其特征在于,所述壓力控制單元為電接點壓力表。

4.根據權利要求1所述的真空壓力控制器,其特征在于,所述兩個真空度控制單元或壓力控制單元(3、4)分別通過電纜線與所述抽氣電磁閥(5)和所述進氣電磁閥(6)相連;所述真空壓力控制器還包括安裝在密封盒(2)上兩個真空電纜接頭(10、11);

其中密封盒(2)內的所述第一個真空度控制單元或壓力控制單元(3)的電纜線通過所述第一個真空電纜接頭(10)與密封盒(2)外的所述抽氣電磁閥(5)的電纜線相連;

其中密封盒(2)內的所述第二個真空度控制單元或壓力控制單元(4)的電纜線通過所述第一個真空電纜接頭(11)與密封盒(2)外的所述進氣電磁閥(6)的電纜線相連。

5.根據權利要求1所述的真空壓力控制器,其特征在于,所述真空壓力控制器還包括安裝在密封盒(2)上的兩個管路密封接口(13、14);

其中所述第一個真空度控制單元或壓力控制單元(3)通過第一個管路密封接口(13)與所述連通管路(92)相連;

其中第二個真空度控制單元或壓力控制單元(4)通過第二個管路密封接口(14)與所述連通管路(93)相連。

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