[實用新型]整列針、整列針清洗裝置及整列針清洗系統有效
| 申請號: | 201020171479.2 | 申請日: | 2010-04-20 |
| 公開(公告)號: | CN201765414U | 公開(公告)日: | 2011-03-16 |
| 發明(設計)人: | 焦宇;張學智;張琨鵬 | 申請(專利權)人: | 北京京東方光電科技有限公司 |
| 主分類號: | G02F1/1333 | 分類號: | G02F1/1333;G03F7/42 |
| 代理公司: | 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205 | 代理人: | 王慶龍 |
| 地址: | 100176 北*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 整列針 清洗 裝置 系統 | ||
1.一種整列針,包括用于與基板接觸的接觸柱體,其特征在于,在所述接觸柱體上設置有一能夠帶動所述接觸柱體進行旋轉的旋轉裝置。
2.根據權利要求1所述的整列針,其特征在于,所述旋轉裝置為設置在所述接觸柱體上的至少一個能夠基于空氣流動而帶動所述接觸柱體進行旋轉的葉輪。
3.根據權利要求2所述的整列針,其特征在于,所述接觸柱體上還設置有用于帶動所述接觸柱體以所述接觸柱體的中心線為軸進行旋轉的外螺紋套,所述葉輪設置在所述外螺紋套的外表面上。
4.根據權利要求3所述的整列針,其特征在于,所述葉輪的延長線與所述外螺紋套的切線平行。
5.根據權利要求3所述的整列針,其特征在于,所述葉輪的延長線與所述外螺紋套的切線的夾角為α,其中0<α≤90°。
6.根據權利要求3或4或5所述的整列針,其特征在于,在所述外螺紋套的外表面上設置有多個所述葉輪,且多個所述葉輪均勻分布。
7.一種整列針清洗裝置,包括用于對整列針上用于與基板接觸的接觸柱體進行清洗的基座,所述基座的一端設置有用于容置所述接觸柱體的凹槽,所述凹槽的側壁上設置有用于向容置在所述凹槽內的接觸柱體噴射清洗液的清洗裝置,其特征在于,在所述基座上方還設置有一換風管,所述換風管能夠促使空氣流動而帶動所述葉輪進行旋轉。
8.根據權利要求7所述的整列針清洗裝置,其特征在于,所述基座的另一端還設置有一用于回收清洗液的負壓排氣管。
9.根據權利要求8所述的整列針清洗裝置,其特征在于,所述換風管與所述負壓排氣管連通,用于通過吸附所述接觸柱體周圍的空氣觸發所述接觸柱體旋轉。
10.根據權利要求7所述的整列針清洗裝置,其特征在于,所述換風管?與一鼓風設備連接,用于通過向所述接觸柱體噴氣觸發所述接觸柱體旋轉。
11.根據權利要求7或8或9或10所述的整列針清洗裝置,其特征在于,所述換風管包括兩個支管,所述兩個支管的換風口分別位于所述接觸柱體的兩側,且相對設置。
12.一種整列針清洗系統,其特征在于,包括如權利要求1至6任一所述的整列針以及如權利要求7至11任一所述的整列針清洗裝置。?
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