[實(shí)用新型]一種具有快速調(diào)零系統(tǒng)的白光干涉儀無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201020168460.2 | 申請(qǐng)日： | 2010-04-23 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN201666783U | 公開（公告）日： | 2010-12-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 朱培;汪凱巍 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 浙江大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | G01B9/02 | 分類號(hào)： | G01B9/02;G01B11/26;G02B27/10 |
| 代理公司： | 杭州求是專利事務(wù)所有限公司 33200 | 代理人： | 林懷禹 |
| 地址： | 310027 浙*** | 國(guó)省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 具有 快速 系統(tǒng) 白光 干涉儀 | ||
1.一種具有快速調(diào)零系統(tǒng)的白光干涉儀，白光光源的白光經(jīng)可移除窄帶濾光片(17)、孔徑光闌(16)、視場(chǎng)光闌(15)和準(zhǔn)直系統(tǒng)準(zhǔn)直后的平行光，經(jīng)第一分光鏡(7)反射進(jìn)入顯微鏡物鏡(10)，被第二分光鏡(12)分成兩束，一束打在參考反射鏡(14)上，另一束打在被測(cè)表面(11)上，兩束光在第二分光鏡(12)上發(fā)生干涉后，經(jīng)會(huì)聚透鏡進(jìn)入CCD相機(jī)(4)，經(jīng)圖像采集卡(22)與計(jì)算機(jī)(1)連接；安裝在顯微物鏡上的壓電陶瓷(9)和精密平移臺(tái)(8)分別經(jīng)AD/DA卡(2)與計(jì)算機(jī)(1)連接；其特征在于：由可調(diào)諧激光器(21)所發(fā)出的激光經(jīng)擴(kuò)束鏡(20)擴(kuò)束后通過裝在準(zhǔn)直系統(tǒng)后的第三分光鏡(19)并入光路；在會(huì)聚透鏡和相機(jī)之間設(shè)置對(duì)長(zhǎng)波完全反射的二向色鏡(6)，探測(cè)器(5)的一端接收二向色鏡(6)的反射光，另一端經(jīng)過AD/DA卡(2)與計(jì)算機(jī)(1)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有快速調(diào)零系統(tǒng)的白光干涉儀，其特征在于：所述的可調(diào)諧激光器(21)采用的是Nanoplus公司生產(chǎn)的分布反饋激光二極管，中心波長(zhǎng)在760nm。
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