[實用新型]單晶爐爐體電動旋轉機構

有效

• 申請號: 201020163749.5
• 申請日: 2010-04-20
• 公開（公告）號: CN201648566U
• 公開（公告）日: 2010-11-24
• 發明（設計）人: 楊金海
• 申請（專利權）人: 寧夏日晶電子科技有限公司
• 主分類號: C30B15/30
• 分類號: C30B15/30
• 代理公司: 上海科琪專利代理有限責任公司 31117
• 代理人: 伍賢喆;夏永興

技術領域

????本實用新型涉及一種非金屬晶體的制造設備，尤其設及一種單晶爐爐體電動旋轉機構。

背景技術

單晶爐是多晶硅轉化為單晶硅工藝過程中的必備設備，而單晶硅又是光伏發電和半導體行業中的基礎原料。單晶硅作為現代信息社會的關鍵支撐材料，是目前世界上最重要的單晶材料之一，它不僅是發展計算機與集成電路的主要功能材料，也是光伏發電利用太陽能的主要功能材料。

單晶爐的上爐筒旋轉功能的作用如下：在硅單晶拉制完成后，上爐體需要升起然后轉出，便于取下生成的單晶硅晶體。現有的上爐體轉出功能，都是采用手動轉動的，比較費力，而且轉動不平穩，容易發生單晶硅晶體掉落等現象。?

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種單晶爐爐體電動旋轉機構，通過該電動旋轉機構可以方便、準確、靈活地控制單晶爐上爐體的旋轉作業，解決單晶爐上爐體手動旋轉作業的勞動強度大，轉動不平穩，晶棒容易發生掉落等現象。

本實用新型是這樣實現的：一種單晶爐爐體電動旋轉機構，包括立柱、傳感器支座、固定塊、旋轉軸、軸承擋環、絲桿、升降電機、上爐體、提升架、連接板和絲桿螺母；立柱側壁固定安裝有傳感器支座，傳感器支座內套裝有旋轉軸，旋轉軸內部設有絲桿，絲桿下端設有與絲桿相配合的絲桿螺母，絲桿螺母的上端通過軸承擋環與旋轉軸的下端相連，所述提升架的一端通過固定塊固定連接在旋轉軸中部，提升架的另一端通過連接板與上爐體固定連接，所述升降電機固定在立柱下端，升降電機的輸出端與絲桿下端相連，所述爐體電動旋轉機構還包括減速馬達、小齒輪、大齒輪和導向鍵，所述的減速馬達固定安裝在立柱側壁上端，減速馬達輸出端固定安裝有小齒輪，所述旋轉軸上端開有導向槽，旋轉軸通過導向槽內的導向鍵與大齒輪連接，大齒輪與減速馬達輸出端的小齒輪嚙合連接。

所述的爐體電動旋轉機構還包括旋轉限位機構，旋轉限位機構包括大齒輪端蓋和限位板，所述的大齒輪上端固定安裝有大齒輪端蓋，大齒輪端蓋成“凸”形，凸肩兩側設有用于控制大齒輪端蓋和大齒輪旋轉角度的限位板，限位板固定在旋轉軸上端的傳感器支座上。

所述傳感器支座中設有限位開關，限位開關控制上爐體的上升位置。

所述升降電機下端還設有用于支撐升降電機的升降電機板，升降電機板與立柱側壁固定連接。

所述升降電機為蝸輪升降電機。

本實用新型在單晶爐上爐體向上運動時，設在導向槽內的導向鍵避免了旋轉軸在上升過程中的轉動，確保了上爐體上升高度的精確性。單晶爐上爐體轉動時，采用機械自動化代替人力，降低了勞動強度；在轉動過程中，通過機械運動，極大提高了作業安全；單晶生長結束后，通過機械自動化運動，實現了勻速平緩運動，徹底解決了原手動作業產生的晶棒容易脫落現象。

附圖說明

圖1為本實用新型單晶爐爐體電動旋轉機構結構示意圖；

圖2為圖1的左視示意圖；

圖3為圖2的局部放大示意圖；

圖4為圖2的B-B向剖視示意圖。

圖中：1立柱、2傳感器支座、3固定塊、4旋轉軸、5軸承擋環、6絲桿、7升降電機、8減速馬達、9大齒輪、10限位板、11上爐體、12提升架、13連接板、14絲桿螺母、15升降電機板、16小齒輪、17大齒輪端蓋、18導向鍵。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步說明。

參見圖1、圖2，一種單晶爐爐體電動旋轉機構，包括立柱1、傳感器支座2、固定塊3、旋轉軸4、軸承擋環5、絲桿6、升降電機7、上爐體11、提升架12、連接板13和絲桿螺母14；立柱1側壁固定安裝有傳感器支座2，所述傳感器支座2中設有限位開關，傳感器支座2內套裝有旋轉軸4，旋轉軸4內部設有絲桿6，絲桿6下端設有與絲桿6相配合的絲桿螺母14，絲桿螺母14的上端通過軸承擋環5與旋轉軸4的下端相連，所述提升架12的一端通過固定塊3固定連接在旋轉軸4中部，提升架12的另一端通過連接板13與上爐體11固定連接，所述升降電機7固定在立柱1下端，所述升降電機7為蝸輪升降電機。升降電機7的輸出端與絲桿6下端相連，所述升降電機7下端還設有用于支撐升降電機7的升降電機板15，升降電機板15與立柱1側壁固定連接。所述爐體電動旋轉機構還包括減速馬達8、小齒輪16、大齒輪9和導向鍵，所述的減速馬達8固定安裝在立柱1側壁上端，減速馬達8輸出端固定安裝有小齒輪16，所述旋轉軸4上端開有導向槽，旋轉軸4通過導向槽內的導向鍵18與大齒輪9連接，大齒輪9與減速馬達8輸出端的小齒輪16嚙合連接。