[實用新型]納米級精度的表面熨壓處理與微納結(jié)構(gòu)陣列加工平臺無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201020163697.1 | 申請日： | 2010-04-20 |
| 公開（公告）號： | CN201770470U | 公開（公告）日： | 2011-03-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 趙宏偉;胡磊磊;馬志超;張洪國;朱帥;邢立峰;黃虎 | 申請（專利權(quán)）人： | 趙宏偉 |
| 主分類號： | B81C99/00 | 分類號： | B81C99/00;B82B3/00 |
| 代理公司： | 長春吉大專利代理有限責(zé)任公司 22201 | 代理人： | 朱世林;王怡敏 |
| 地址： | 130025 吉林省長春*** | 國省代碼： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 納米 精度 表面 處理 結(jié)構(gòu) 陣列 加工 平臺 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種納米級精度的表面熨壓處理與微納結(jié)構(gòu)陣列加工平臺，包括支撐單元、驅(qū)動單元及預(yù)緊機構(gòu)，其特征在于：所述支撐單元由包括支撐單元I(3)及支撐單元II(6)，該支撐單元I(3)與支撐單元II(6)螺紋連接；
所述驅(qū)動單元包括工具頭(1)、碟簧(2)、工具頭座(4)及壓電疊堆(5)，該壓電疊堆(5)設(shè)置于工具頭座(4)的矩形槽中，工具頭座(4)的中部以柔性鉸鏈傳動；工具頭(1)置于工具頭座(4)前端的錐形槽中，碟簧(2)置于支撐單元I(3)與工具頭(1)之間；所述預(yù)緊機構(gòu)由預(yù)緊螺釘(7)與支撐單元II(6)的螺紋相互配合構(gòu)成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米級精度的表面熨壓處理與微納結(jié)構(gòu)陣列加工平臺，其特征在于：所述的工具頭(1)為鋼球，工具頭座(4)為鋼球座。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的納米級精度的表面熨壓處理與微納結(jié)構(gòu)陣列加工平臺，其特征在于：所述的工具頭(1)與碟簧(2)相互配合。
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