[實用新型]用于物理氣相沉積設備的報警裝置

有效

• 申請號: 201020161728.X
• 申請日: 2010-04-16
• 公開（公告）號: CN201678728U
• 公開（公告）日: 2010-12-22
• 發明（設計）人: 李廣寧
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54;G08B21/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及半導體制造領域，尤其是涉及一種物理氣相沉積設備。

背景技術

在集成電路中，制造銅導線的方法是以物理氣相沉積(Physical?VapourDeposition)設備在已沉積的基層上長一層銅層。沉積過程中，先會沉積上一層非金屬層作為過渡，通常選擇鉭(Ta)，然后再在鉭層的基礎上沉積上一層銅層。

在現有的物理氣相沉積設備中，由于多種原因造成的電力短路以及制造廠的供電系統跳電而導致物理氣相沉積的設備有時處于斷電狀態，由于整個物理氣相沉積設備無電流供應，所以相關操作人員無法及時獲知物理氣相沉積設備異常，由于晶圓在沉積過程始終處于高溫的狀態而斷電后會導致工藝溫度以及壓力的異常，長時間無人處理晶圓將導致晶圓表面氧化，使得晶圓導通層電阻發生變化，嚴重情況下甚至會造成晶圓報廢。

實用新型內容

本實用新型解決的問題是現有物理氣相沉積設備沒有報警系統而使得一旦發生機臺無電流供應，所以相關操作人員無法及時獲知物理氣相沉積設備異常，由于晶圓在沉積過程始終處于高溫的狀態而斷電后會導致工藝溫度以及壓力的異常，長時間無人處理晶圓將導致晶圓表面氧化，使得晶圓導通層電阻發生變化，嚴重情況下甚至會造成晶圓報廢。

一種用于物理氣相沉積設備的報警裝置，包括：控制器、報警器、工作電源和供電電池，所控制器輸入端與工作電源連接于第一節點，所述控制器輸出?端與所述供電電池連接于第二節點，所述控制器驅動端與報警器連接于第三節點，所述第二節點和第三節點之間接有轉換器。

優選的，所述報警器包括狀態指示燈和擴音器。

優選的，所述工作電源額定供電電壓為100v～220v交流電壓。

由于采用了上述技術方案，與現有技術相比，本實用新型具有以下優點：

1、通過在控制器與報警器之間增加設置了供電電池，一方面保證了報警器即使工作電源停止工作同樣能夠發出警報，另一方面，在平時又可以由機臺電源予以補充電力。

2、進一步保證了由于物理氣相沉積設備由于多種原因造成的電力短路以及制造廠的供電系統跳電而導致物理氣相沉積的設備有時處于斷電狀態，由于整個物理氣相沉積設備無電流供應，所以相關操作人員無法及時獲知物理氣相沉積設備異常。由于晶圓在沉積過程始終處于高溫的狀態而斷電后會導致工藝溫度以及壓力的異常，長時間無人處理晶圓將導致晶圓表面氧化，使得晶圓導通層電阻發生變化，嚴重情況下甚至會造成晶圓報廢。

附圖說明

通過附圖中所示的本發明的優選實施例的更具體說明，本發明的上述及其它目的、特征和優勢將更加清晰。在全部附圖中相同的附圖標記指示相同的部分。并未刻意按實際尺寸等比例縮放繪制附圖，重點在于示出本發明的主旨。

圖1為本實用新型結構示意圖；

具體實施方式

以下將對本實用新型的用于物理氣相沉積設備的報警裝置作進一步的詳細?描述。

下面將參照附圖對本實用新型進行更詳細的描述，其中表示了本實用新型的優選實施例，應該理解本領域技術人員可以修改在此描述的本實用新型而仍然實現本實用新型的有利效果。因此，下列描述應當被理解為對于本領域技術人員的廣泛知道，而并不作為對本實用新型的限制。

為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細描述公知的功能和結構，因為它們會使本實用新型由于不必要的細節而混亂。應當認為在任何實際實施例的開發中，必須作出大量實施細節以實現開發者的特定目標，例如按照有關系統或有關商業的限制，由一個實施例改變為另一個實施例。另外，應當認為這種開發工作可能是復雜和耗費時間的，但是對于本領域技術人員來說僅僅是常規工作。

為使本實用新型的目的、特征更明顯易懂，下面結合附圖對本實用新型的具體實施方式作進一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。

本實用新型設計了一種用于物理氣相沉積設備的報警裝置，圖1為本實用新型的結構示意圖，所述用于物理氣相沉積設備的報警裝置100包括：控制器101、報警器102、工作電源103和供電電池104，所控制器輸入端與工作電源103連接于第一節點a，所述控制器101輸出端與所述供電電池104連接于第二節點b，所述控制器101驅動端與報警器102連接于第三節點c，所述第二節點b和第三節點c之間接有轉換器105。