[實用新型]偏振橫向剪切干涉儀

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201020154278.1
• 申請日: 2010-04-09
• 公開（公告）號: CN201622124U
• 公開（公告）日: 2010-11-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李凡月;王劍波;胡中華;曾愛軍;黃惠杰
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所
• 主分類號: G01J9/02
• 分類號: G01J9/02
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 張澤純

1.一種偏振橫向剪切干涉儀，特征在于由偏振分束器(1)、雙折射晶體平板(2)、偏振方向旋轉(zhuǎn)組件(3)、變倍鏡組(4)、圖像傳感器(5)和計算機(6)組成，其位置關(guān)系是：沿入射光束行進的方向依次為所述的偏振分束器(1)、雙折射晶體平板(2)和偏振方向旋轉(zhuǎn)組件(3)，在所述的偏振分束器(1)沿入射光束行進的反方向的反射光路中依次設(shè)置所述的變倍鏡組(4)和圖像傳感器(5)，該圖像傳感器(5)的輸出端與所述的計算機(6)相連，所述雙折射晶體平板(2)的主平面與所述的偏振分束器(1)出射的線偏振光的偏振方向成45°角，所述偏振方向旋轉(zhuǎn)組件(3)是后表面鍍有高反射膜(32)的四分之一波片(31)，或是四分之一波片(31)和平面反射鏡的組合體，所述四分之一波片(31)的快軸方向與所述雙折射晶體平板(2)的主平面成45°角。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的偏振橫向剪切干涉儀，其特征在于所述的偏振分束器是鍍有偏振分光膜的立方分束棱鏡，或具有分束功能的雙折射棱鏡。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的偏振橫向剪切干涉儀，其特征在于所述雙折射晶體平板(2)具有使其在主截面內(nèi)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，該雙折射晶體平板(2)是光軸平行于其表面的單軸晶體平板，或光軸垂直于其表面的單軸晶體平板。