[實用新型]自動冷卻式輸電裝置

在審

• 申請號: 201020150319.X
• 申請日: 2010-03-30
• 公開（公告）號: CN201648507U
• 公開（公告）日: 2010-11-24
• 發明（設計）人: 楊明生;葉宗鋒;劉惠森;范繼良;王勇;王曼媛
• 申請（專利權）人: 東莞宏威數碼機械有限公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司 44202
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

技術領域

本實用新型涉及一種輸電裝置，尤其涉及一種自帶冷卻功能的自動冷卻式輸電裝置。

背景技術

隨著有機半導體技術的深入研究，有機器件的應用越來越廣泛，如有機電致發光器件(OLED)。OLED的制備離不開有機薄膜的生成，現有技術中最成熟的技術是通過蒸鍍技術來完成有機薄膜的制備。

在使用真空蒸鍍制備薄膜時，三類加熱源如電阻加熱源、電子束加熱源和感應加熱源通常被用于加熱和蒸發材料。感應加熱源主要用于大規模涂覆儀器，因為由于高頻率的使用，它傾向于使用復雜的外圍設備。由于電子束加熱源能蒸發幾乎所有種類的材料，因此它被廣泛用于大型設備，也用于實驗薄膜的制造。但是，電子束加熱源的缺點是價格昂貴。由于電阻加熱源安裝簡單和價格低廉的特征，因此被用于各種領域。

通常OLED的蒸鍍方式是采用電阻式加熱蒸發源(電極通電至蒸發源供熱)，所選擇的蒸發源材料為耐特高溫的材料，比如半導體材料和金屬，具體的可以選擇金屬如鎢、鉭、鉬等，此外還可以是氯化硼等。蒸發源的使用方法如下：將蒸發源的兩端連接輸電裝置，外加較大的電流使其由于電阻效應而發熱，使放入其中的待蒸鍍材料如金屬材料、半導體材料等熔融、蒸發，得到蒸鍍膜。

然而，當電流通過輸電裝置時，電流也會作功而消耗電能，會由于電流的熱效應而產生熱量。所以當輸電裝置通過較大的電流時，輸電裝置也會產生較大的熱量和溫度。若輸電裝置得不到及時的冷卻降溫則其會產生較大的電阻，不利于較大電流的傳輸。此外，輸電裝置和蒸發源還會把熱量傳遞到真空腔體內、真空腔體壁上等，蒸發源的熱量會導致待鍍基板表面溫度過高，不利于OLED膜層的制備，而較高溫度的真空腔體壁也會產生較大的安全隱患，例如容易灼傷操作者。

因此，急需一種自帶冷卻功能的輸電裝置以提供較好的輸電性能和安全性能。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種自動冷卻式輸電裝置，該自動冷卻式輸電裝置自帶冷卻功能從而提供較好的輸電性能和安全性能。

為了實現上述目的，本實用新型的技術方案為：提供一種自動冷卻式輸電裝置，適用于固定真空腔體內的蒸發源并對所述蒸發源輸電，所述自動冷卻式輸電裝置包括輸電單元、密封單元及冷卻單元，所述輸電單元包括兩呈中空結構的電極棒，所述中空結構形成進水槽，所述電極棒包括位于所述真空腔體內的內端和位于所述真空腔體外的外端，所述外端與電極線相連接，其中一所述電極棒的內端與所述蒸發源的一端相連，而另一所述電極棒的內端與所述蒸發源的另一端相連，所述密封單元包括法蘭和卡置于所述法蘭上的絕緣件，所述電極棒穿過所述絕緣件絕緣地固定于所述法蘭上，所述法蘭安裝于所述真空腔體上與所述真空腔體一起構成封閉的空間，所述冷卻單元包括出水管、進水接頭和出水接頭，所述出水管懸置于所述進水槽內，所述進水接頭與所述進水槽相連通，所述出水接頭與所述出水管相連通，所述進水接頭、進水槽、出水管及出水接頭構成冷卻通路。

與現有技術相比，由于本實用新型自動冷卻式輸電裝置自帶冷卻單元，通過該冷卻單元可對固定蒸發源的自動冷卻式輸電裝置進行自動冷卻，經過冷卻降溫的自動冷卻式輸電裝置可以提供蒸發源所需要的低電壓大電流，具有較好的輸電性能，同時也可有效地降低真空腔體的溫度以提高安全性能。

較佳地，所述自動冷卻式輸電裝置還包括承載單元，所述承載單元包括固定于所述法蘭上的固定座和固定于所述固定座上的絕緣固定夾，所述電極棒固定于所述絕緣固定夾上。

較佳地，所述電極棒的外端設置有導電螺母，所述導電螺母將所述電極線固定在所述電極棒上。

較佳地，所述冷卻單元還包括連接座，所述連接座固定于所述電極棒的外端，所述連接座開設有與所述進水槽相連通的主通孔和與所述主通孔相連通的側通孔，所述出水管穿過所述主通孔與出水接頭連接，所述進水接頭安裝于所述側通孔上。

較佳地，所述輸電單元還包括蒸發源固定夾，所述電極棒的內端通過蒸發源固定夾與所述蒸發源相連。

較佳地，所述絕緣件與所述法蘭連接處設有密封圈，所述絕緣件與所述電極棒連接處也設置有密封圈。

附圖說明

圖1是本實用新型自動冷卻式輸電裝置安裝于真空腔體的示意圖。

圖2是圖1中A部分的放大示意圖。

圖3是圖1中B部分的放大示意圖。

圖4是本實用新型自動冷卻式輸電裝置的立體圖。

圖5是圖4所示本實用新型自動冷卻式輸電裝置的俯視圖。

具體實施方式