[實(shí)用新型]探針臺(tái)測(cè)試監(jiān)控裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201020142802.3
• 申請(qǐng)日: 2010-03-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201637843U
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-11-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 顧漢玉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 華潤(rùn)賽美科微電子(深圳)有限公司
• 主分類號(hào): G01R35/00
• 分類號(hào): G01R35/00;G01R1/067
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 何平

【技術(shù)領(lǐng)域】

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體工業(yè)中的測(cè)試技術(shù)，特別是涉及一種探針臺(tái)測(cè)試監(jiān)控裝置。

【背景技術(shù)】

在晶圓測(cè)試的過(guò)程中，使用的設(shè)備或部件(如測(cè)試儀、探針卡、探針臺(tái)等)會(huì)因各種因素出現(xiàn)故障，從而導(dǎo)致測(cè)試異常。例如提供測(cè)試機(jī)和晶圓電氣連接的探針卡與晶圓接觸不良時(shí)，會(huì)引起測(cè)試機(jī)對(duì)被測(cè)芯片是否為不良品的誤判。在這種情況下測(cè)試結(jié)果就會(huì)顯示為大量芯片被連續(xù)判定為不良品。在實(shí)際生產(chǎn)中，如果操作人員無(wú)法實(shí)時(shí)地發(fā)現(xiàn)并處理這種異常，測(cè)試就會(huì)出現(xiàn)連續(xù)的誤判，最終導(dǎo)致測(cè)試的準(zhǔn)確度及效率的下降。

由于新型號(hào)的探針臺(tái)較為昂貴，國(guó)內(nèi)外的許多廠商仍在使用一些比較老舊的探針臺(tái)。這些探針臺(tái)有些不具備監(jiān)控故障導(dǎo)致的連續(xù)性誤判的功能，有些雖然具備、但卻不完善。例如ELECTROGLAS公司生產(chǎn)的EG2001系列探針臺(tái)，只能實(shí)現(xiàn)單芯片測(cè)試(探針卡每扎一次只測(cè)試晶圓上的一塊芯片)下的連續(xù)壞芯片報(bào)警，而無(wú)法實(shí)現(xiàn)多芯片測(cè)試(探針卡每扎一次測(cè)試多塊芯片)下的連續(xù)壞芯片報(bào)警。

雖然可以通過(guò)更換功能更強(qiáng)大的新型號(hào)探針臺(tái)來(lái)解決這一問(wèn)題，但這大大增加了成本，還會(huì)造成現(xiàn)有設(shè)備的浪費(fèi)。

【實(shí)用新型內(nèi)容】

為了解決舊型號(hào)的探針臺(tái)不具備誤判的監(jiān)控功能的問(wèn)題，有必要提供一種可以在不更換探針臺(tái)情況下，實(shí)時(shí)、自動(dòng)地對(duì)測(cè)試中的連續(xù)性誤判進(jìn)行監(jiān)控，并發(fā)出指令、暫停測(cè)試的探針臺(tái)測(cè)試監(jiān)控裝置。

一種探針臺(tái)測(cè)試監(jiān)控裝置，接收探針臺(tái)發(fā)送的測(cè)試結(jié)果，該裝置包括：存儲(chǔ)器，存儲(chǔ)所述測(cè)試結(jié)果和誤判閾值；誤判計(jì)數(shù)模塊，根據(jù)所述測(cè)試結(jié)果記錄連續(xù)不良品數(shù)量；判斷模塊，與誤判計(jì)數(shù)模塊和存儲(chǔ)器相連，通過(guò)判斷誤判計(jì)數(shù)模塊記錄的連續(xù)不良品數(shù)量是否大于所述誤判閾值，決定是否向探針臺(tái)發(fā)送停止測(cè)試的指令。

優(yōu)選的，還包括與所述存儲(chǔ)器連接的輸入模塊，所述存儲(chǔ)器存儲(chǔ)的誤判閾值是通過(guò)輸入模塊輸入的。

優(yōu)選的，還包括與所述誤判計(jì)數(shù)模塊連接的顯示模塊，接收所述誤判計(jì)數(shù)模塊記錄的連續(xù)不良品數(shù)量并進(jìn)行顯示。

優(yōu)選的，所述顯示模塊還與所述存儲(chǔ)器連接，顯示誤判閾值。

優(yōu)選的，所述顯示模塊采用數(shù)碼管進(jìn)行顯示。

優(yōu)選的，還包括與所述判斷模塊連接的報(bào)警器；所述判斷模塊向探針臺(tái)發(fā)送停止測(cè)試的指令的同時(shí)，還向報(bào)警器發(fā)送報(bào)警指令，指示報(bào)警器報(bào)警。

優(yōu)選的，還包括與所述判斷模塊連接的報(bào)警器；所述判斷模塊向探針臺(tái)發(fā)送停止測(cè)試的指令的同時(shí)，還向報(bào)警器發(fā)送報(bào)警指令，指示報(bào)警器報(bào)警；所述輸入模塊包括按鍵，所述按鍵包括報(bào)警取消鍵。

優(yōu)選的，所述報(bào)警取消鍵是輸入模塊的按鍵的任意一個(gè)或多個(gè)。

優(yōu)選的，還包括串口數(shù)據(jù)計(jì)數(shù)模塊，所述串口數(shù)據(jù)計(jì)數(shù)模塊與存儲(chǔ)器及誤判計(jì)數(shù)模塊連接，記錄存儲(chǔ)器接收到的具有固定字節(jié)數(shù)的所述測(cè)試結(jié)果的數(shù)據(jù)，每收到測(cè)試結(jié)果的一個(gè)字節(jié)數(shù)據(jù)就加1；串口數(shù)據(jù)計(jì)數(shù)模塊根據(jù)記錄的值判斷所述存儲(chǔ)器是否接收到了一份完整的測(cè)試結(jié)果的數(shù)據(jù)，當(dāng)判定接收到了一份完整的測(cè)試結(jié)果的數(shù)據(jù)時(shí)，將記錄的值清零并指示誤判計(jì)數(shù)模塊讀取所述完整的測(cè)試結(jié)果的數(shù)據(jù)。

優(yōu)選的，所述誤判計(jì)數(shù)模塊收到表示測(cè)試的產(chǎn)品為不良品的測(cè)試結(jié)果時(shí)加1，收到表示測(cè)試的產(chǎn)品為良品測(cè)試結(jié)果時(shí)清零。

上述探針臺(tái)測(cè)試監(jiān)控裝置能夠?qū)崟r(shí)、自動(dòng)地對(duì)探針臺(tái)的連續(xù)性誤判進(jìn)行監(jiān)控，在判斷產(chǎn)生了誤判時(shí)，向探針臺(tái)發(fā)出停止測(cè)試的指令。提高了測(cè)試的準(zhǔn)確度及測(cè)試效率。并且不需要更換現(xiàn)有的探針臺(tái)設(shè)備，節(jié)省了成本、避免了浪費(fèi)。

【附圖說(shuō)明】

圖1是探針臺(tái)測(cè)試監(jiān)控裝置的連接示意圖；

圖2是一個(gè)實(shí)施例中探針臺(tái)測(cè)試監(jiān)控裝置的結(jié)構(gòu)的示意圖；

圖3是另一個(gè)實(shí)施例中探針臺(tái)測(cè)試監(jiān)控裝置的結(jié)構(gòu)的示意圖。

【具體實(shí)施方式】

如圖1所示，本實(shí)用新型為探針臺(tái)100外接一個(gè)探針臺(tái)測(cè)試監(jiān)控裝置200，在巧妙分析控制信號(hào)數(shù)據(jù)的基礎(chǔ)上，實(shí)現(xiàn)了包括多芯片測(cè)試和單芯片測(cè)試在內(nèi)的各種模式下的連續(xù)壞芯片(即不良品)誤判監(jiān)控。

圖2是一個(gè)實(shí)施例中探針臺(tái)測(cè)試監(jiān)控裝置的結(jié)構(gòu)的示意圖。探針臺(tái)測(cè)試監(jiān)控裝置200包括存儲(chǔ)器210、誤判計(jì)數(shù)模塊230以及判斷模塊240。存儲(chǔ)器210和誤判計(jì)數(shù)模塊230以及判斷模塊240相連接。

存儲(chǔ)器210與探針臺(tái)100上的串口110相連接，接收探針臺(tái)100發(fā)送的芯片的測(cè)試結(jié)果(芯片為良品或者不良品)。存儲(chǔ)器210還存儲(chǔ)有誤判閾值，在優(yōu)選的實(shí)施例中，該閾值是預(yù)先記錄在存儲(chǔ)器210中的。