[實用新型]貼合裝置有效
| 申請號： | 201020140937.6 | 申請日： | 2010-03-15 |
| 公開（公告）號： | CN201808268U | 公開（公告）日： | 2011-04-27 |
| 發明（設計）人： | 平井明;石田剛;海津拓哉;中山幸德 | 申請（專利權）人： | 株式會社日立工業設備技術 |
| 主分類號： | B32B38/18 | 分類號： | B32B38/18;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219 | 代理人： | 高培培;車文 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 貼合 裝置 | ||
1.一種貼合裝置，在真空室內具備使基板相對而進行保持的兩個基板保持裝置，將由兩個所述基板保持裝置各保持一片的兩片所述基板在真空狀態下貼合，其特征在于，
所述兩個基板保持裝置的至少一個基板保持裝置具有粘著保持所述基板的基板保持部，
所述基板保持部中，具備：
粘著墊，以不飽和聚丁二烯樹脂為材料并粘著于所述基板；以及
可動膜，從所述粘著墊一側朝向粘著在該粘著墊上的所述基板突出。
2.如權利要求1所述的貼合裝置，其特征在于，
在所述粘著墊上形成有凸部，作為和所述基板相接觸的粘著面，
在所述粘著面上形成有突起，
所述突起與所述基板相接觸的面積相對于所述粘著面的面積的比例為7.8～31.2％。
3.如權利要求1或權利要求2所述的貼合裝置，其特征在于，
所述可動膜配置成堵塞開口部，所述開口部在設置在所述基板保持裝置內且能夠使內部氣壓上升的增壓室、及粘著在所述粘著墊上的所述基板之間的位置上開口，
所述可動膜為下述構造：隨著所述增壓室的氣壓上升，所述可動膜從所述開口部朝向粘著在所述粘著墊上的所述基板突出。
4.如權利要求3所述的貼合裝置，其特征在于，所述粘著墊配置在所述可動膜的周圍。
5.如權利要求4所述的貼合裝置，其特征在于，所述基板保持裝置中的設置在上方的上基板保持裝置中，具備通過真空吸引將所述基?板吸起的至少一個吸起墊、和使所述吸起墊升降的升降機構。?
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