[實(shí)用新型]光纖端面微光學(xué)器件數(shù)字光刻的裝置無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201020139081.0 | 申請(qǐng)日： | 2010-03-23 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN201654453U | 公開（公告）日： | 2010-11-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 高益慶;余秋香;羅寧寧;龔勇清;陳敏;肖孟超;喻立霞;葉青 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 南昌航空大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | G03F7/20 | 分類號(hào)： | G03F7/20;G02B6/26 |
| 代理公司： | 南昌洪達(dá)專利事務(wù)所 36111 | 代理人： | 劉凌峰 |
| 地址： | 330000 江西省*** | 國(guó)省代碼： | 江西;36 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 光纖 端面 微光 器件 數(shù)字 光刻 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種光纖端面微光學(xué)器件數(shù)字光刻的裝置，它包括調(diào)節(jié)臺(tái)、半反半透分光棱鏡、紫外光源、擴(kuò)束準(zhǔn)直均勻器、計(jì)算機(jī)、數(shù)字微鏡器件、紫外線截止濾光片、LED光源、面陣CCD、精縮投影物鏡、光纖，其特征是數(shù)字微鏡器件和面陣CCD通過導(dǎo)線連接計(jì)算機(jī)，LED光源的輸出光線通過紫外線截止濾光片照射數(shù)字微鏡器件，紫外光源的輸出光線通過擴(kuò)束準(zhǔn)直均勻器照射數(shù)字微鏡器件，數(shù)字微鏡器件、半反半透分光棱鏡、精縮投影物鏡和光纖依次排序形成一條直線，光纖連接調(diào)節(jié)臺(tái)。
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G03 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)
G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷?；蝾愃朴∷⒛５闹谱?，例如，鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備
G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷?；蝾愃朴∷⒛５闹谱?，例如，鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備
