[實用新型]硅烷液化、汽化裝置無效
| 申請號： | 201020134201.8 | 申請日： | 2010-03-18 |
| 公開（公告）號： | CN201648003U | 公開（公告）日： | 2010-11-24 |
| 發明（設計）人： | 李中元 | 申請（專利權）人： | 天津市泰亨氣體有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/04 | 分類號： | C01B33/04;F25J3/06 |
| 代理公司： | 天津市杰盈專利代理有限公司 12207 | 代理人： | 李鳳林 |
| 地址： | 300385 天津市*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 硅烷 液化 汽化 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種硅烷液化、汽化裝置，其特征在于：高純硅烷成品出口、過濾器、減壓閥、高純氮氣和氫氣儲罐、15MPa壓力表、真空規管、真空泵、流量計2、硅烷液化瓶、2.5MPa壓力表、取樣口、流量計1、1MPa壓力表、提純硅烷進裝置入口、水力泵按其系統功能通過其中間連接的閥門的連接管線組裝一體而構成。
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