[實用新型]硅烷制備裝置無效
| 申請號： | 201020134183.3 | 申請日： | 2010-03-18 |
| 公開（公告）號： | CN201686494U | 公開（公告）日： | 2010-12-29 |
| 發明（設計）人： | 李中元 | 申請（專利權）人： | 天津市泰亨氣體有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/04 | 分類號： | C01B33/04 |
| 代理公司： | 天津市杰盈專利代理有限公司 12207 | 代理人： | 李鳳林 |
| 地址： | 300385 天津市*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 硅烷 制備 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種硅烷制備裝置，其特征在于：液氨計量槽、過濾器、硅烷發生器、回流洗滌柱、冷凝器、流量計、螺旋送料器、減速器、下料斗、上料斗、機械真空泵、氮氣鋼瓶、水力真空泵、放空管、水封池通過其中間連接的閥門的連接管線組裝一體而構成。?
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