[實(shí)用新型]一種吸盤式取硅片機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201020132271.X
• 申請(qǐng)日: 2010-02-10
• 公開（公告）號(hào): CN201626710U
• 公開（公告）日: 2010-11-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王燕清
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 無錫先導(dǎo)自動(dòng)化設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): B65G47/91
• 分類號(hào): B65G47/91;B65G47/06
• 代理公司: 無錫市大為專利商標(biāo)事務(wù)所 32104
• 代理人: 殷紅梅

1.一種吸盤式取硅片機(jī)構(gòu)，其特征在于包括機(jī)架(9)、安裝在機(jī)架(9)上的升降裝置、移動(dòng)式吸盤裝置和硅片輸送裝置；機(jī)架(9)上設(shè)有上臺(tái)板(4)和下臺(tái)板(13)；升降裝置安裝在機(jī)架(9)下臺(tái)板(13)上，升降裝置左右各有一個(gè)，用于將疊放在一起的硅片(11)按指定距離抬升；移動(dòng)式吸盤裝置安裝在上臺(tái)板(4)上，移動(dòng)式吸盤裝置與升降裝置相對(duì)應(yīng)，用于左右交替地吸取升降裝置上的硅片(11)，并交替地將硅片(11)放置在硅片輸送裝置上；硅片輸送裝置安裝在下臺(tái)板(13)上，硅片輸送裝置設(shè)置在左右兩個(gè)升降裝置的中間，用于將移動(dòng)式吸盤裝置吸取的硅片(11)輸送出。

2.如權(quán)利要求1所述的吸盤式取硅片機(jī)構(gòu)，其特征還在于，所述升降裝置包括有硅片座(12)、升降桿(14)、第二直線導(dǎo)軌(15)、第二絲桿(16)、第二軸承(17)、支撐座(18)、第二聯(lián)軸器(19)、電機(jī)支撐桿(20)和第二伺服電機(jī)(21)，支撐座(18)安裝在下臺(tái)板(13)的下表面上，第二絲桿(16)通過第二軸承(17)豎直安裝在支撐座(18)上，第二伺服電機(jī)(21)利用電機(jī)支撐桿(20)安裝在支撐座(18)的下端，第二伺服電機(jī)(21)的輸出軸通過第二聯(lián)軸器(19)與第二絲桿(16)連接，第二絲桿(16)上裝配有豎直移動(dòng)塊(41)，第二絲桿(16)與豎直移動(dòng)塊(41)構(gòu)成螺紋傳動(dòng)副；第二直線導(dǎo)軌(15)固定在支撐座(18)上，第二直線導(dǎo)軌(15)起到導(dǎo)正豎直移動(dòng)塊(41)的作用，在第二直線導(dǎo)軌(15)上安裝有第二滑塊(44)，第二滑塊(44)與豎直移動(dòng)塊(41)連接；升降桿(14)與第二滑塊(44)相連接，在下臺(tái)板(13)上開設(shè)有孔，升降桿(14)穿過該孔，升降桿(14)的上端安裝硅片座(12)。

3.如權(quán)利要求1所述的吸盤式取硅片機(jī)構(gòu)，其特征還在于，所述移動(dòng)式吸盤裝置包括有絲桿固定座(1)、第一絲桿(2)、第一直線導(dǎo)軌(3)、固定板(5)、氣缸(6)、真空吸盤(7)、吸盤固定板(8)、第一伺服電機(jī)(37)和第一軸承39組成，絲桿固定座(1)固定在上臺(tái)板(4)上，第一絲桿(2)通過第一軸承(39)安裝在絲桿固定座(1)上，在其中一個(gè)絲桿固定座(1)的外側(cè)固定有第一伺服電機(jī)(37)，第一伺服電機(jī)(37)的輸出軸與第一絲桿(2)連接；第一絲桿(2)上裝配有水平移動(dòng)塊(40)，第一絲桿(2)與水平移動(dòng)塊(40)構(gòu)成螺紋傳動(dòng)副；第一直線導(dǎo)軌(3)固定在上臺(tái)板(4)上，在第一直線導(dǎo)軌(3)上安裝有第一滑塊(43)，水平移動(dòng)塊(40)與第一滑塊(43)連接，第一直線導(dǎo)軌(3)起支撐并導(dǎo)正水平移動(dòng)塊(40)的作用；固定板(5)連接在第一滑塊(43)上；氣缸(6)的缸體尾端固定在固定板(5)的前端兩側(cè)，氣缸(6)的活塞桿端向下連接有吸盤固定板(8)，在吸盤固定板(8)上安裝有至少一個(gè)真空吸盤(7)。

4.如權(quán)利要求1所述的吸盤式取硅片機(jī)構(gòu)，其特征還在于，所述硅片輸送裝置包括有前滾輪軸(22a)、后滾輪軸(22b)、第三軸承(23)、前滾輪(24a)、后滾輪(24b)、輸送帶(25)、支撐板(26)、第四軸承(27)、平鍵(28)、傳動(dòng)輪(29)、傳動(dòng)軸(30)和第三伺服電機(jī)(33)，支撐板(26)固定在下臺(tái)板(13)上，第三伺服電機(jī)(33)固定在支撐板(26)上，傳動(dòng)軸(30)通過第四軸承(27)安裝在支撐板(26)上，第三伺服電機(jī)(33)的輸出軸與傳動(dòng)軸(30)連接，在傳動(dòng)軸(30)上安裝有傳動(dòng)輪(29)，傳動(dòng)輪(29)與傳動(dòng)軸(30)通過平鍵(28)連接傳動(dòng)；在傳動(dòng)軸(30)上前方和上后方的支撐板(26)上分別安裝有前滾輪軸(22a)和后滾輪軸(22b)，前滾輪軸(22a)和后滾輪軸(22b)上分別通過第三軸承(23)安裝有前滾輪(24a)和后滾輪(24b)；傳動(dòng)輪(29)、前滾輪(24a)和后滾輪(24b)配裝有輸送帶(25)，傳動(dòng)輪(29)帶動(dòng)輸送帶(25)轉(zhuǎn)動(dòng)，輸送帶(25)將放置在其上的硅片(11)輸送出。

5.如權(quán)利要求1所述的吸盤式取硅片機(jī)構(gòu)，其特征還在于，所述吸盤式取硅片機(jī)構(gòu)還包括用于將被吸的硅片(11)與其他硅片(11)分開的噴氣裝置，噴氣裝置設(shè)置在升降裝置的外側(cè)，噴氣裝置包括有固定塊(10)、噴氣管(34)和氣管接頭(35)，固定塊(10)固定在下臺(tái)板(13)上，噴氣管(34)安裝在固定塊(10)上，噴氣管(34)上開設(shè)有徑向的噴氣孔(42)；噴氣管(34)的一端連接氣管接頭(35)，氣管接頭(35)與氣源相連通。

6.如權(quán)利要求3所述的吸盤式取硅片機(jī)構(gòu)，其特征還在于，所述真空吸盤(7)為4個(gè)，4個(gè)真空吸盤(7)安裝在吸盤固定板(8)的四角上。