[實用新型]沉積箱真空度檢測裝置

無效

• 申請號: 201020131780.0
• 申請日: 2010-03-16
• 公開（公告）號: CN201637537U
• 公開（公告）日: 2010-11-17
• 發明（設計）人: 李健
• 申請（專利權）人: 沈陽漢鋒新能源技術有限公司
• 主分類號: G01L21/30
• 分類號: G01L21/30
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種檢測裝置，尤其涉及一種太陽能電池生產過程中的沉積箱真空度檢測裝置。

背景技術

在太陽能電池生產過程中，有一個很重要的生產工藝，叫做化學氣象沉積，即在一個真空室里面通入相應的工藝氣體，在一定的條件下，進行非晶硅鍍層的生產，此生產過程對真空室的真空度以及真空度精度的要求很高，這就需要有一個測量范圍大，測量精度高的檢測裝置。

實用新型內容

為了解決上述技術問題本實用新型提供一種沉積箱真空度檢測裝置，目的是增加了真空度的測量范圍。

為達上述目的本實用新型沉積箱真空度檢測裝置，由下述結構成：電磁閥，電磁閥與進氣管連接，在進氣管上通過管路與電阻規連接，電磁閥與電離規連接，電離規與電離規信號線連接，電阻規與電阻規信號線連接，電磁閥上設有電磁閥信號線。

所述的進氣管通過法蘭與電磁閥連接。

所述的進氣管與電阻規之間的管路上設有法蘭。

所述的電磁閥與電離規之間通過管路連接。

所述的電磁閥與電離規之間的管路上設有法蘭。

本實用新型的優點效果：將電阻規和電離規先后安裝在一個管路上，測量范圍可從100000帕至0.0001帕，并且中間安裝有電磁閥，可以單獨使用電阻規，也可以同時使用電阻規和電離規，本實用新型結構簡單，增加了真空度的測量范圍，測量精度高，實用性強。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖。

圖中：1、法蘭；2、電阻規；3、電離規；4、電阻規信號線；5、電離規信號線；6、電磁閥；7、電磁閥信號線；8、進氣管。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作進一步說明。

如圖所示本實用新型沉積箱真空度檢測裝置，由下述結構構成：電磁閥6，電磁閥6與進氣管8連接，在進氣管8上通過管路與電阻規2連接，電磁閥6與電離規3連接，電離規3與電離規信號線5連接，電阻規2與電阻規信號線4連接，電磁閥6上設有電磁閥信號線7，進氣管8通過法蘭1與電磁閥6連接，進氣管8與電阻規2之間的管路上設有法蘭，電磁閥6與電離規3之間通過管路連接，電磁閥6與電離規3之間的管路上設有法蘭。

本實用新型當需要單獨使用電阻規時，將電磁閥關閉，這樣電阻規測量范圍為100000帕至10帕，而當測量范圍需要擴大時，將電磁閥打開，啟動電離規，電離規的測量范圍從10帕到0.0001帕，這樣本實用新型的檢測范圍為100000帕至0.0001帕。并且在真空度達到要求后，化學氣象沉積開始后，工藝氣體會對電離規造成污染，電磁閥關閉后，對電離規起到保護作用。