[實用新型]可控硅器件的平面終端鈍化結構有效
| 申請號: | 201020123884.7 | 申請日: | 2010-03-04 |
| 公開(公告)號: | CN201699004U | 公開(公告)日: | 2011-01-05 |
| 發明(設計)人: | 王新潮;馮東明;高善明;李建立 | 申請(專利權)人: | 江陰新順微電子有限公司 |
| 主分類號: | H01L23/29 | 分類號: | H01L23/29;H01L21/316 |
| 代理公司: | 江陰市同盛專利事務所 32210 | 代理人: | 唐紉蘭 |
| 地址: | 214431 *** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 可控硅 器件 平面 終端 鈍化 結構 | ||
【權利要求書】:
1.一種可控硅器件的平面終端鈍化結構,其特征在于所述結構包括芯片硅襯底層(1),在所述芯片硅襯底層(1)表面復合有鈍化層(2),在所述鈍化層(2)表面依次復合有第一保護層(3)、第二保護層(4)和第三保護層(5),且在所述芯片硅襯底層(1)表面留出陰極和門極引線孔窗口;所述鈍化層(2)材料采用半絕緣摻氧多晶硅SIPOS。?
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