[實用新型]一種功率器件的銅線鍵合設備有效
| 申請號: | 201020119109.4 | 申請日: | 2010-02-11 |
| 公開(公告)號: | CN201773826U | 公開(公告)日: | 2011-03-23 |
| 發明(設計)人: | 李西萍;劉衛光;顏文 | 申請(專利權)人: | 深圳市貴鴻達電子有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/607 | 分類號: | H01L21/607 |
| 代理公司: | 深圳市中知專利商標代理有限公司 44101 | 代理人: | 張學群 |
| 地址: | 518028 廣東省深圳*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 功率 器件 銅線 設備 | ||
1.一種功率器件的銅線鍵合設備,其包括打火桿(2)、打火桿固定座(8)、送線器(5)、換能器(4),所述換能器外端向下設有供銅線穿過的瓷嘴(3),其特征在于,所述銅線鍵合設備還設有一個可防止銅線燒球氧化的雙管吹氣裝置;所述雙管吹氣裝置包括連通保護氣源的兩根吹氣管,為第一吹氣管(10)和第二吹氣管(20),兩根吹氣管的出氣口相對地位于所述瓷嘴(3)下端的兩側。
2.根據權利要求1所述的銅線鍵合設備,其特征在于,所述第二吹氣管(20)位于打火桿(2)所在的那一側;所述第一吹氣管(10)位于與打火桿(2)相對的那一側。
3.根據權利要求1所述的銅線鍵合設備,其特征在于,所述第一、第二吹氣管為外徑為3mm、內徑為2mm的金屬管。
4.根據權利要求2所述的銅線鍵合設備,其特征在于,所述銅線鍵合設備的機身上部設有顯微鏡,所述第一吹氣管(10)上端連接在機身上、位于顯微鏡的外側,第一吹氣管(10)自上而下向瓷嘴(3)處伸出。
5.根據權利要求1所述的銅線鍵合設備,其特征在于,所述第一吹氣管(10)的出氣口到瓷嘴(3)外表面的最近水平距離小于2mm。
6.根據權利要求2所述的銅線鍵合設備,其特征在于,所述第二吹氣管(20)上端連接在所述打火桿固定座(8)上,自上而下伸出,所述打火桿(2)的一端焊接在所述第二吹氣管的出氣口端內壁、另一端則略伸出第二吹氣管(20)的出氣口。?
7.根據權利要求6所述的銅線鍵合設備,其特征在于,所述打火桿(2)伸出第二吹氣管(20)出氣口的長度為1-1.5mm;所述打火桿伸出的最末端與瓷嘴(3)外表面的最近水平距離小于1mm。
8.根據權利要求1所述的銅線鍵合設備,其特征在于,所述雙管吹氣裝置由氣源、氣流控制閥、兩根輸氣軟管、所述第一吹氣管(10)和第二吹氣管(20)組成;所述第一、第二吹氣管分別通過輸氣軟管與氣源連通。
9.根據權利要求1所述的銅線鍵合設備,其特征在于,所述銅線鍵合設備設有滑動底座(1),所述打火桿固定座(8)設于銅線鍵合設備的機身中部,所述送線器(5)自打火桿固定座(8)的下方向外側伸出,而換能器(4)位于送線器的下方,瓷嘴(3)位于送線器(5)外端的下方,銅線可自送線器穿過瓷嘴,銅線下端頭(9)位于打火桿(2)外端處。?
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





