[實用新型]一種包括內熱屏罩和外熱屏罩的單晶爐裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201020118183.4
• 申請日: 2010-02-25
• 公開（公告）號: CN201665723U
• 公開（公告）日: 2010-12-08
• 發(fā)明（設計）人: 舟橋啟;賀賢漢;河野貴之
• 申請（專利權）人: 上海漢虹精密機械有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00
• 代理公司: 上海漢聲知識產(chǎn)權代理有限公司 31236
• 代理人: 胡晶

1.一種包括內熱屏罩和外熱屏罩的單晶爐裝置，包括熱屏和石英坩堝，其特征在于，所述熱屏是由斷熱材、熱屏罩、反射板組成，斷熱材設置在石英坩堝的上方，其下部直徑小于上部直徑，斷熱材的內側和外側分別被內熱屏罩和外熱屏罩覆蓋，其內熱屏罩內側放置有反射板，反射板環(huán)繞拉晶中的晶棒，反射板與內熱屏罩之間未預留空間。

2.如權利要求1所述的單晶爐裝置，其特征在于，內熱屏罩和外熱屏罩為一體制成的熱屏罩，斷熱材的四周都由熱屏罩包覆。

3.如權利要求1或2所述的單晶爐裝置，其特征在于，反射板的材質采用即使長時間暴露在高溫中變形仍然很小、輻射率很低的鉬或者鎢。

4.如權利要求1或2所述的單晶爐裝置，其特征在于，反射板為作過鏡面處理的反射板。

5.如權利要求1或2所述的單晶爐裝置，其特征在于，熱屏上部設置上部斷熱材。

6.如權利要求1或2所述的單晶爐裝置，其特征在于，熱屏罩的材質為石墨或C/C復合材料。

7.如權利要求1或2所述的單晶爐裝置，其特征在于，反射板呈現(xiàn)上面大、下面小的圓臺狀。

8.如權利要求2所述的單晶爐裝置，其特征在于，反射板與熱屏罩齊高。