[實用新型]清洗逆滲透膜的自動控制系統

無效

• 申請號: 201020116052.2
• 申請日: 2010-02-10
• 公開（公告）號: CN201801404U
• 公開（公告）日: 2011-04-20
• 發明（設計）人: 余亮臺
• 申請（專利權）人: 東連環保科技股份有限公司
• 主分類號: C02F1/44
• 分類號: C02F1/44
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 梁揮;張燕華

技術領域

本實用新型涉及一種半導體工藝廢水的處理系統，特別涉及一種廢水回收系統中的逆滲透膜的清洗逆滲透膜的自動控制系統。?

背景技術

半導體工藝的廢水是分成IC制造以及封裝工藝中所產生的廢水，在IC制造時，由于產品種類繁雜，工藝組合多不相同，因此，排出的廢水中所含化學物質種類變化也相當復雜，其中大部分是以純水清洗芯片、去光阻、蝕刻及溫室效應氣體燃燒破壞的洗滌等程序所排放的，一般可略分為酸堿廢水及含氟廢水，其中主要成份為有機物、金屬離子、懸浮固體、強氧化物及氟離子。?

另外，在IC封裝的過程中所產生的污染廢水則包括切割、電鍍、浸錫、清洗過程所產生的廢水，依廢水種類可分成研磨廢水、脫脂廢水、酸堿廢水、氰化物廢水及重金屬廢水等，而水中主要的污染物質包括了懸浮固體、油脂、有機物及重金屬(Cu、Ni)。?

上述的工藝廢水，若能通過有效的廢水回收系統加以處理，將可恢復產生水質合乎標準的回收水，繼續供應廠區例如工藝用水、間接冷卻用水、產品與半成品或原料清洗用水、空間與生產機械清洗用水、傳輸用水、原料用水、鍋爐用水、直接冷卻用水、空調或溫濕度控制用水等的使用，而大幅降低IC制造業的生產成本，并避免對環境的嚴重危害。?

一般來說，半導體廠區所使用的廢水回收系統，包括下列多個步驟。首先，將一工藝廢水導入一第一過濾塔中，該第一過濾塔濾膜的孔洞尺寸約為20～100毫米，接著，將自該第一過濾塔流出的過濾水續導入另一過濾塔中，即一第二過濾塔，而該第二過濾塔濾膜的孔洞尺寸約為2～10毫米。?

經該第一過濾塔及該第二過濾塔的過濾程序后，原廢水中的較大顆粒的雜質，應約可被初步的濾除。接著，將自該第二過濾塔流出的過濾水續導入一逆滲透膜的過濾系統，由于該逆滲透膜為一孔洞尺寸更微小的濾膜系統，例如為?1～10埃，因此，可獲得水質合乎工藝再利用標準的回收水，而完成此一工藝廢水的回收程序。?

但因回收系統中的逆滲透膜的高頻率使用，遂在孔洞表面處極易形成結垢而阻塞濾膜，此時若無法提供一有效清洗逆滲透膜的技術，將使濾膜的壽命因此快速終止，而嚴重影響整體回收系統的運作。現有清洗逆滲透膜的方法如下所述，首先，將逆滲透膜通入一藥劑，約20分鐘，此處的藥劑可為一特定濃度的強堿，接著，靜置該逆滲透膜，傳統上約需要一日的時間，之后，先以慢壓沖洗，再改以快壓沖洗逆滲透膜，而完成此一清洗程序。?

上述的清洗步驟，由于前后過程約需要耗費兩日的時間，且經常于清洗完成后，該濾膜仍存有阻塞的現象，實為一既不經濟又無效率的清洗方法。面對半導體的工藝日益繁復，亟須更大用水量的同時，勢必要開發出一種有效清洗逆滲透膜的方法，使濾膜雖因負載水量的增加，由于實施一有效、得宜的清洗步驟，仍可在廢水回收的系統中繼續提供可過濾水質的功能。?

目前諸多半導體廠，為延長逆滲透膜壽命，降低其對雜質的負載程度，在前處理階段例如上述所提的第一過濾塔以及第二過濾塔過濾程序的前后，會加設如活性碳塔、離子交換樹脂塔、微過濾膜、超過濾膜或紫外光燈等的設備，以期提升過濾水于此階段時的水質。但同時卻須負擔增加設備及操作運轉上額外多出的成本或是如活性碳、離子交換樹脂塔、微過濾膜、超過濾膜等耗材的大量使用，此些均不符合產業上要求低成本的考慮。?

實用新型內容

鑒于以上的問題，本實用新型的主要目的在于提供一種清洗逆滲透膜的自動控制系統，除可延長逆滲透膜的使用壽命外，亦可根據逆滲透膜的狀態調整清洗時的運轉功率與運轉時間。?

為達到上述目的，本實用新型揭露一種清洗逆滲透膜的自動控制系統包括：?

一逆滲透產水裝置，其包含一輸入閥門、一逆滲透機組與至少一輸出閥門，當該逆滲透產水裝置設定為一產水模式時，該逆滲透產水裝置通過該輸入閥門將一中間水槽的液體注入該逆滲透機組進行逆滲透處理，并將已處理后的液體借由該輸出閥門排出；?

一清洗裝置，其包含一輸入通道與一輸出通道，當該清洗裝置設定為一清洗模式時，將該輸入通道連接于該輸出閥門，該輸出通道連接于該輸入閥門，使得該逆滲透產水裝置與該清洗裝置形成循環結構，并該清洗裝置將一清洗藥劑注入于該逆滲透機組；?

一計時裝置，當該逆滲透產水裝置在該產水模式中每經過一預設時間時，則該計時裝置發送一清洗信號；?

一流量檢測裝置，當該逆滲透產水裝置在該產水模式的輸出水量低于一水量門坎值時，則該流量檢測裝置發送該清洗信號；?

一導電度檢測裝置，當該逆滲透產水裝置在該產水模式所輸出水的導電率高于一導電率門坎值時，則該導電度檢測裝置發送該清洗信號；以及?