[實用新型]一種大檢測電容的微慣性傳感器

無效

• 申請號: 201020111041.5
• 申請日: 2010-02-09
• 公開（公告）號: CN201628722U
• 公開（公告）日: 2010-11-10
• 發明（設計）人: 董林璽;顏海霞
• 申請（專利權）人: 杭州電子科技大學
• 主分類號: G01P15/02
• 分類號: G01P15/02;G01P15/125;B81B7/02
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司 33200
• 代理人: 杜軍

1.一種大檢測電容的微慣性傳感器，包括玻璃襯底、敏感器質量塊、驅動器質量塊和固定驅動硅條，其特征在于：

敏感器質量塊為矩形硅片，敏感器質量塊的兩對應端通過敏感器U形硅支撐梁與敏感器錨點連接，敏感器錨點固定設置在玻璃襯底上，敏感器質量塊與玻璃襯底平行設置；敏感器質量塊的另兩個對應端分別設置有兩組硅條組，每組硅條組包括平行設置的m條硅條，m≥2；敏感器質量塊兩端的硅條數量相同、位置對應，硅條與敏感器質量塊側邊垂直；敏感器質量塊對應玻璃襯底一面刻蝕有與硅條平行的矩形柵條形井；

敏感器質量塊的兩側分別設置有兩個驅動器質量塊；所述的驅動器質量塊為矩形硅片，驅動器質量塊的兩對應端通過驅動器U形硅支撐梁與驅動器錨點連接，驅動器錨點固定設置在玻璃襯底上，驅動器質量塊與玻璃襯底平行設置；每個驅動器質量塊的一側設置有m個可動驅動硅條，另一側設置有m個檢測硅條，所述的檢測硅條為梳齒狀，齒上刻蝕有凹形阻尼條，檢測硅條與敏感器質量塊連接的硅條平行、位置對應，敏感器質量塊連接的硅條與對應的檢測硅條組成檢測電容；驅動器質量塊中間刻有方環形槽；

兩個梳齒狀的固定驅動硅條固定設置在玻璃襯底上，每個固定驅動硅條的梳齒條與可動驅動硅條位置對應；固定驅動硅條的梳齒條與對應的可動驅動硅條組成驅動電容；兩個固定驅動硅條通過玻璃襯底表面上的引線與驅動器外部連接錨點連接；

玻璃襯底表面對應兩個敏感器錨點位置設置有兩個敏感器質量塊焊點，敏感器質量塊焊點與敏感器錨點連接；玻璃襯底表面對應敏感器質量塊設置有叉指鋁電極，敏感器質量塊上刻蝕的柵條形井的長條邊與叉指鋁電極中的每對叉指相對應。