[實(shí)用新型]多晶硅鑄錠爐改進(jìn)型熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201020107331.2 | 申請(qǐng)日: | 2010-02-04 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN201627002U | 公開(kāi)(公告)日: | 2010-11-10 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 金越順;衛(wèi)國(guó)軍;孫海梁 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 精功紹興太陽(yáng)能技術(shù)有限公司 |
| 主分類號(hào): | C30B29/06 | 分類號(hào): | C30B29/06;C30B28/06 |
| 代理公司: | 杭州華知專利事務(wù)所 33235 | 代理人: | 龍湖浩 |
| 地址: | 312081 浙江省紹*** | 國(guó)省代碼: | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 多晶 鑄錠 改進(jìn)型 結(jié)構(gòu) | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本專利涉及一種多晶硅鑄錠爐改進(jìn)型熱場(chǎng)結(jié)構(gòu),屬于太陽(yáng)能級(jí)多晶硅鑄錠爐制造領(lǐng)域。
背景技術(shù)
太陽(yáng)能是人類取之不盡用之不竭的可再生能源.將成為本世紀(jì)取代煤炭、石油等傳統(tǒng)能源的一種新型清潔能源。由于不產(chǎn)生任何環(huán)境污染,而且輸送和儲(chǔ)存方便,在能源與環(huán)保兩大驅(qū)動(dòng)力作用下,大陽(yáng)能光電轉(zhuǎn)換是近年來(lái)世界各國(guó)發(fā)展最快,最受矚目的項(xiàng)目之一,也是當(dāng)今應(yīng)用日益廣泛的研究領(lǐng)域。全球光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展速度很快,人們開(kāi)發(fā)的太陽(yáng)能電池,大部份選擇多晶硅作為基材。而在光伏產(chǎn)業(yè)中,采用的多晶硅片電池片是以高純度多晶硅原料經(jīng)定向凝固結(jié)晶、再經(jīng)切片后封裝加工成最終產(chǎn)品。
多晶硅鑄錠爐是一種硅的熔化后重結(jié)晶設(shè)備,用于生產(chǎn)太陽(yáng)能級(jí)多晶硅鑄錠。在實(shí)際生產(chǎn)中,將高純度多晶硅裝入爐中,按工藝要求加熱熔化、定向長(zhǎng)晶、退火、冷卻等步驟后加工出爐。多晶硅熔化重結(jié)晶過(guò)程是在一個(gè)由石墨加熱器、保溫層等零部件組成的結(jié)構(gòu)中完成的,這個(gè)結(jié)構(gòu)我們稱之為熱場(chǎng)。熱場(chǎng)不單為多晶硅熔化提供大量的熱能,在長(zhǎng)晶過(guò)程中又提供合理的溫度梯場(chǎng)。使得液態(tài)的多晶硅能夠從底部到上層逐步緩慢結(jié)晶凝固,長(zhǎng)成了大晶粒柱晶。大晶粒使得晶界減少,柱狀晶有利于后續(xù)處理切片使晶界垂直于硅片表面,減少晶界對(duì)材料電學(xué)性能的影響。而定向凝固技術(shù)正是由于其單向散熱的特點(diǎn),能夠得到連續(xù)生產(chǎn)的柱狀晶凝固組織,從而得到合乎工藝要求的多晶硅晶體。
現(xiàn)有技術(shù)用周邊加熱的方法生產(chǎn)690X690(長(zhǎng)X寬)規(guī)格的鑄錠已非常成熟,每50小時(shí)生產(chǎn)270公斤左右的多晶硅鑄錠,相對(duì)來(lái)講產(chǎn)能小,能耗較大。用周邊和頂部加熱的方法生產(chǎn)840X840(長(zhǎng)X寬)規(guī)格的鑄錠,也已經(jīng)廣泛應(yīng)用,每65小時(shí)生產(chǎn)430公斤左右多晶鑄錠。但熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)復(fù)雜,鑄錠易產(chǎn)生微晶。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種設(shè)計(jì)合理,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、鑄錠長(zhǎng)晶良好、成本經(jīng)濟(jì)的多晶硅鑄錠爐改進(jìn)型熱場(chǎng)結(jié)構(gòu),每65小時(shí)單爐生產(chǎn)達(dá)450公斤多晶硅鑄錠。
多晶硅鑄錠爐改進(jìn)型熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)包括:頂部隔熱板、周邊隔熱體、底部隔熱板、電極、連接塊、加熱板、熱交換塊、立柱、吊桿、坩堝、爐體。
周邊隔熱體用吊桿懸掛于爐體中,熱交換臺(tái)由數(shù)根支柱支撐,熱交換塊上設(shè)置了坩堝、電極、連接塊、加熱板、頂部隔熱板,支柱上還固定了底部隔熱板。
爐體由上、下兩部分殼體組成,其結(jié)合部位密封良好。
吊桿與爐體是滑動(dòng)配合,且結(jié)合部位密封良好。
這樣設(shè)置,吊桿可拉動(dòng)周邊隔熱體作升降運(yùn)動(dòng),下降到底部時(shí),可與頂部隔熱板、底部隔熱板形成一個(gè)密閉的隔熱腔體,在這個(gè)腔體中,熱交換臺(tái)由數(shù)根支柱支撐著,熱交換臺(tái)上擱置著坩堝,坩堝里放置著多晶硅原材料,坩堝四周懸掛著加熱板,它通過(guò)電極和連接塊導(dǎo)電發(fā)熱。整個(gè)密閉爐體所形成的一個(gè)空間結(jié)構(gòu)即構(gòu)成了本專利所涉及的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)。
附圖說(shuō)明
為了看清內(nèi)部結(jié)構(gòu),本實(shí)用新型的說(shuō)明書(shū)附圖全部采用了縱向剖視圖。
圖1為多晶硅鑄錠爐改進(jìn)型熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)的立體圖(不包括殼體)。
圖2為多晶硅鑄錠爐改進(jìn)型熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)的加熱狀態(tài)剖面圖。
圖3為多晶硅鑄錠爐改進(jìn)型熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)的保溫狀態(tài)剖面圖。
附圖標(biāo)記說(shuō)明:
1頂部隔熱板、2周邊隔熱體、3底部隔熱板、4電極、5連接塊、6加熱板、7熱交換塊、8立柱、9吊桿、10坩堝、11硅液(錠)、12爐體。
具體實(shí)施方式
下面通過(guò)附圖和多晶硅生產(chǎn)流程來(lái)進(jìn)一步說(shuō)明本實(shí)用新型。
實(shí)施例1:
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